磨抛盘直径:
8英寸主轴转速:
-单位能耗:
-装机功率(kw):
-成品细度9/p>2纳米
工作原理9/p>其他
虚拟号将180秒后失效
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适用?寸?寸?寸?寸?寸等多种尺寸晶圆的纯化学抛光
夹具可选择搭配不同重量的配重块,适用于不同材料的抛光工艺需汁/span>
抛光后粗糙度变化值ΔRa≤?nm
夹板、夹具、偏心距等可根据客户需求订刵/span>
机身小巧,方便拆裄/span>
配备远程操作系统
几乎为零的机械作用力实现无橘皮无划痕效应
采用先进防腐材料和结构设计,达整机超强防腏/span>
暂无数据