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Mu 9660 封测段缺陷检测设夆/span>品牌
清软微视产地
浙江样本
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-多尺寸高精度缺陷检测:支持6"/8"晶圆(含碳化?Si/LT等材质),厚度覆?50μm~1000μm:/p>
-高吞吐设计:8英寸晶圆@2x镜达54WPH?英寸@2x镜达100WPH:/p>
-结合线阵扫描成像与实时对焦技术,确保成像清晰度与准确性>95%
-缺陷叠图分析:支?次检测结果坐标对齐及?背面数据关联,助力失效分析;
暂无数据
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