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热丝金刚石设夆/span>品牌
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河北样本
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真空腔室尺寸:立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷; 真空腔室尺寸:?00×H500mm 基片台尺寸:Φ200mm 衬底温度?00~1100℃; 产品概述 1.适用范围:适用于各单位实验室、高校实验室、教学等项目的科研、产品中试 2.产品优点和特点:热丝金刚石设备采用热丝化学气相沉积技术,已应用于国内许多热丝生产线。该设备生产了大型片状多晶金刚石厚膜,取得了相当大的经济效益。热丝金刚石设备适用于工业生产、科研、教学和产品试验 3.主要用逓用于生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氮化硅和氧化硅薄膜。纳米金刚石薄膜和微晶金刚石薄膜沉积在切割工具、钻头、丝锥等表面。也可以制备硼金刚石电极、BBD电极和金刚石电极膜 参数9/span>
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