产品名称：氧分析�?/span>

产品型号：Gasboard-3053

产品概述

氧分析仪Gasboard-3053搭载高稳定性的氧化锆核心传感器，覆�?5%富氧�?ppm微量氧的全范围测量。具有测量精度高、响应时间快、稳定性好等特点，可应用于半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等领域，为关键的过程控制应用程序提供可靠的性能。产品采用紧凑型模块化设计，体积小巧，便于在复杂⼯况下安装，同时配备直观丰富的用户界面，提供人机交互体验、�/p>

产品特�?/span>

测量精度⾼，ppm级别测量

响应速度快，秒级出数

即插即⽤⼀体化设计

内置采样泵与过滤系统，安装维护便捶�/span>

本地化端到端服务保障

应用领域

半导体、LED等⽣产过程中氧浓度控制、惰性保护⽓体⽣产及焊接⼯艺中氧浓度监测、空⽓分离加⼯⼯艺中氧浓度测定、真空⼿套箱系统中氧含量的监�?/span>

技术参�?/strong>

微量-常量氧分析仪
功能性能需汁�/span>	检测气佒�/span>	O2
	量程范围	0~10~100~1000ppm�?~25%，自动切捡�/span>
	检出限	0.5ppm
	分辨玆�/span>	0.1ppm
	准确�?/span>/示值误�?/span>/精度 ＇�/span>ppm=氧分厊�/span>/当前⼯作总压（�/span>	≤�?%F.S.�?nbsp;±0.5ppm 以较大值为凅�/span>
	响应时间	T90�?0s
	预热时间	�?0min
	零点漂移	±0.5%F.S.
	量程漂移	±0.5%F.S.
	重复�?/span>	±0.5%F.S.
电气结构	通讯协议	RS-232＋�/span>RS-485
	气路接口	进气/出气1/4''VCR-F
	结构形式	一体式
	结构尺寸＇�/span>L*W*D（�/span>	210*134*300mm
环境要求	传感器（RSM）工作温湿度	温度９�span class="font1" style="box-sizing: border-box; margin: 0px; padding: 0px;">0~50ℂ�/span>；湿度：0~95%RH，非冷凝
	采样流量	0.5~1L/min传感器内设控流组仵�/span>