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产品特点:
智能识别和实时控制脉冲稳定?/p>
开机自动优化脉宽,冷启动速度?/p>
智能反馈控制,长期功率稳定性好
脉宽窄时域质量高,满足低HAZ加工要求
一体化结构设计,光束指向稳定性高
脉冲控制模式灵活,支持多种触发工作模弎/p>
工业化设计,保障7x24小时连续工作
应用领域:
半导体晶圆隐分/p>
钙钛矿电池划纾/p>
光波导加?/p>
光栅刻写
金属、玻璃、高分子材料加工与表面处琅/p>
GENE-DW-1030/515是一款针对高效率工业场景研发的智能稳定飞秒激光器,智能算法加持可实现快速冷启动,脉冲参数智能识别和自动优化以及功率能量脉宽的长期稳定。激光器输出脉宽窄,光束质量和脉冲时域质量高,精密加工时热影响区小。一体化结构设计紧凑可靠,光束指向稳定性高,支持Trig、Gate、Burst、POD、PSO等多种触发工作模式,可保障工业用?x24小时连续稳定工作 此款双波长飞秒激光器集成1030nm?15nm两种波长输出可选,脉冲宽度小于350fs?030nm单脉冲能量大?0μJ@1MHz?15nm单脉冲能量大?0uJ@1MHz,长期功率稳定性优?.5% RMS。该产品可广泛应用于半导体晶圆隐切,钙钛矿电池划线,光波导加工,光栅刻写,金属、玻璃、高分子材料加工与表面处理等领域、/p>
产品数据
| 型号 | GENE-515-350-10 | GENE-1030-350-20 | GENE-1030/515-350-20 | |
| 输出特?/td> | ||||
| 中心波长 | 515nm | 1030nm | 1030/515nm | |
| **平均输出功率 | 10W | 20W | 20/10W | |
| *小脉宼/td> | 350fs | 350fs | 350fs | |
| 脉宽调谐(可选配(/td> | 400~5000fs | 400~5000fs | 400~5000fs | |
| **单脉冲能野/td> | 10uJ | 20uJ | 20/10uJ | |
| 重复频率 | 1Hz~1MHz | 1Hz~1MHz | 1Hz~1MHz | |
| 脉冲选择 | 单脉冲,按需脉冲,任意基础频率整除 | |||
| 偏振 | 垂直 | 水平 | 水平/垂直 | |
| 光束质量, M² | M²?.3 | M²?.3 | M²?.3 | |
| 光斑直径 | 3 ±1 mm, 1/e² | 3 ±1 mm, 1/e² | 3 ±1 mm, 1/e² | |
| 光斑发散觑/td> | <1 mrad, 2θ | <1 mrad, 2θ | <1 mrad, 2θ | |
| 光斑圆度 | ?5% | ?5% | ?5% | |
| 光束指向稳定?/td> | <20μrad @1hour | <20μrad @1hour | <20μrad @1hour | |
| 脉冲宽度稳定?/td> | <1% RMS @*小脉宼/td> | <1% RMS @*小脉宼/td> | <1% RMS @*小脉宼/td> | |
| 功率稳定?24小时) | <0.5% RMS | <0.5% RMS | <0.5% RMS | |
| 长期功率稳定 (100小时) | <0.5% RMS | <0.5% RMS | <1% RMS | |
| 脉冲能量稳定 (24小时) | <1% RMS | <1% RMS | <1% RMS | |
| 配置选项 | ||||
| 倍频模块 | 月/td> | 旟/td> | 月/td> | |
| 电控激光快门Shutter | 标配 | 标配 | 标配 | |
| Burst脉冲串模弎/td> | 可逈/td> | 可逈/td> | 可逈/td> | |
| 输出脉冲选择?/td> | 可逈/td> | 可逈/td> | 可逈/td> | |
| 指引先/td> | 可逈/td> | 可逈/td> | 可逈/span> | |
| 外形尺寸 | ||||
| 激光器 (长×宽×? | 63x39x20cm | 63x39x20cm | 63x39x20cm | |
| 水冷 (长×宽×? | 58x29x9cm | 58x29x9cm | 58x29x9cm | |
| 电源 (长×宽×? | 48x37x9cm | 48x37x9cm | 48x37x9cm | |
| 环境和使用要汁/td> | ||||
| 工作环境 | 20~30ℂ/td> | 20~30ℂ/td> | 20~30ℂ/td> | |
| 相对湿度 | <80%(非冷凝(/td> | <80%(非冷凝(/td> | <80%(非冷凝(/td> | |
| 电源箰/td> | 220 V AC 5 A | 220 V AC 5 A | 220 V AC 5 A | |
| 水冷朹/td> | 220 V AC 8 A | 220 V AC 8 A | 220 V AC 8 A | |
| 电源箰/td> | 750W | 750W | 750W | |
| 水冷朹/td> | 1240W | 1240W | 1240W | |
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