参考价栻/p>面议
型号
化学气相沉积炉设夆/span>品牌
默森科技产地
辽宁样本
暂无非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>其他
温控精度９/p>-
最高温度：
-额定温度９/p>-
看了化学气相沉积炉设备的用户又看亅/p>
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主要技术指标：
参数/型号 |
CVD600-CVD5000 |
工作区尺?nbsp; |
按客户需求定刵/span> |
安装形式 |
立式 |
加热器分布方?nbsp; |
圆周 |
加热器材?nbsp; |
石墨 |
| 保温材料 |
含锆硅酸铝模块砖 |
**温度（℃（/span> |
1100 |
温度均匀性（℃） |
±7.5 |
极限真空度（Pa) |
50Pa |
工作真空度（Pa?nbsp; |
200Pa |
压升率（Pa/h（/span> |
10 |
工作压力?*压力MPa（/span> |
0.12 |
| 工艺气氛 |
CH3/N2 |
配置选择９/span>
炉门 |
铰链回转?吊装式；手动锁紧 |
马弗罏/span> |
C-C复合材料 |
炉壳 |
碳钢 |
冷却速度 |
随炉冷却/快速冷?nbsp; |
气路控制 |
体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进?国产 |
真空泵和真空讠/span> |
进口/国产 |
操作面板 |
触摸?工控朹br/> |
| PLC |
欧姆?西门孏br/> |
控温仪表 |
岛电/欧陆 |
| 热电偵br/> | K分度叶br/> |
| 电器元件 |
施耐德/西门?nbsp; |
| 其它安装形式 |
暂无数据
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