工作原理９/p>滤筒
收灰方式９/p>集尘?集尘?集尘袊/span>
进风方式９/p>负压
排放浓度９/p>10
阻力损耗：
100脱硫率：
20风量９/p>1000
使用温度９/p>-60-80
除尘效率９/p>99%
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半导体真空吸尘系统CVP系列粉尘处理设备
治理目标
粉尘捕集率：针对重点产尘工位（如晶圆切割、研磨、键合），粉尘捕集率达到98%以上，减少粉尘扩散至生产环境、/p>
过滤精度：系统出口粉尘浓度低?.1mg/m³，满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）及半导体行业洁净度要求、/p>
设备保护：降低粉尘对真空机组、管道的磨损和堵塞，延长设备使用寿命，减少运维成?0%以上、/p>
安全合规：消除粉尘积累引发的火灾、爆炸风险（部分半导体粉尘属可燃粉尘），确保系统符合OSHA（美国职业安全与健康管理局）及国内半导体行业安全规范、/p>
分级过滤系统升级
构建“三级过?离线清灰”系统，具体配置如下９/p>
一级粗滤：旋风分离?/strong>
安装在管道入口处，利用离心力分离5μm以上的粗颗粒粉尘（如硅粉、碳化硅粉），分离效率≥90%；底部配备锥形集尘斗，采用气动卸灰阀，避免卸灰时负压损失、/p>
二级精滤：HEPA滤芯
选用H13级HEPA滤芯（过滤精?.3μm，效率≥99.97%），截留中细颗粒粉尘；滤芯采用褶式结构，增大过滤面积（单支面积≥5m²），延长使用寿命（建议更换周?个月）、/p>
三级高效滤：ULPA滤芯
采用U15级ULPA滤芯（过滤精?.1μm，效率≥99.9995%），确保出口粉尘浓度达标；滤芯设置压差传感器，当阻力超过1500Pa时自动报警，提示更换、/p>
同时，在过滤箱内设置脉冲喷吹清灰系统（压缩空气压?.6MPa，喷吹频?0?次），实现离线清灰，避免清灰时粉尘二次进入系统；过滤箱外壳采用不锈钢材质，密封等级达到IP65，防止粉尘外漏、/p>
半导体真空吸尘系统CVP系列粉尘处理设备
构建“三级过?离线清灰”系
固体制剂制药车间粉尘清理方案背景：为何需要专用真空吸尘系统？固体制剂车间是制药企业粉尘产生的重灾区。这些粉尘不仅来源于原料药（API）和辅料，还可能含有活性药物成分。传统的清扫方式（如扫帚、压缩空气吹
2025-10-27
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