非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>-
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用逓用于石墨表面TaC化学气相沉积、/p>
特点:采用电阻式加热,通过温度控制模块实现高温加热,配合沉积工艺实现载体表面的TaC沉积,设备沉积效果好,自动化程度高,性能可靠稳定、/p>
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