参考价栻/p>1万元以下
型号
SC 系列品牌
产地
日本样本
暂无森泽金属与冶金行业专用仪?/p>
森泽SC 系列
国产金属与冶金行业专用仪?/p>
看了日本 NAS 技 SC 系列 简易型微量金属污染物回收装置的用户又看亅/p>
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SC-3100
●连接电脑后可以创建多种采集模式，从而从硅晶圆的表面及侧面（斜切面）上采集微量金属污染物样本、/span>
●由于几乎不需要外部资源，也不占用空间，因此很容易引入该设备、/span>
●由于是机械操作，无需操作人员具备高超技能，任何人都能轻松进行采样、/span>
●由于设备能够自动完成采样用药液的供应以及固定装置的移动工作，因此与SC-2000相比，能进一步减少操作人员造成的污染、/span>
SC-8150
●具备从亲水状态的晶圆上回收污染物的功能，能够对硅以外的材料制成的晶圆，以及因体蚀刻等原因而表面变得粗糙的晶圆进行采样、/span>
●对晶圆状态以及采样所用溶液种类的限制有所放宽，现在也可以回收重金属以外的离子等物质、/span>
●当然，也可以采用传统的疏水表面采样方法、/span>
SC-9100
●具有从亲水状态的晶圆上提取污染物的功能，能够对硅以外的材料制成的晶圆，以及因批量蚀刻等原因而表面变得粗糙的晶圆进行采样、/span>
●对晶圆状态以及采样用溶液种类的限制有所放宽，现在也可以回收重金属以外的离子等物质了、/span>
●当然，也可以采用传统的疏水表面采样方法、/span>
●由于设备能够自动完成采样用药液的供应以及固定装置的移动工作，因此与SC-8150相比，能进一步减少操作人员带来的污染、/span>
要点９/p>
1. 这是一种能够有效去除硅晶圆表面及侧面所附着的微量金属污染物的创新装置、/p>
2. 其具备自动清洗功能，从而将人为造成的污染风险降?低，进而确保分析结果的精确性、/p>
3. 甚至可以用于处理化合物半导体晶圆上的污染物、/p>
| 装置同/span> | SC-3100 | SC-8150 | SC-9100 | SC-9200 | |||||
| 操作 | 电脑(?) | ||||||||
| 对应晶圆尺寸 | 150?00?00mm | ||||||||
| 保持具的装戴/拆卸 | 自动 | 手动 | 自动 | 自动 | |||||
| 采样用药液的供应 | 自动 | 手动 | 自动 | 自动 | |||||
| 采样用药液的回收 | 自动(?) | 手动 | 自动 | 自动 | |||||
| 基本回收模式 | 环形、扇形、固定、半径、圆?/span> | ||||||||
| 追加回收模式(?) | 侧面、矩形、弓彡/span> | ||||||||
| 奥里弗拉处理(?) | 环形结构，固定半径，侧面带有回收图案 | ||||||||
| 保持具的自动清洗 | ・/span> | ・/span> | ・/span> | 〆/span> | |||||
| 吸上式液回收 | 〆/span> | ・/span> | 〆/span> | 〆/span> | |||||
| 亲水面的回收 | ・/span> | 〆/span> | 〆/span> | 〆/span> | |||||
| 外形(W×D×H)(毫米) | 600×494×600 | 600×494×700 | 600×494×790 | 690×550×790 | |||||
| 重量 | 35公斤 | 40公斤 | 50公斤 | 55公斤 | |||||
| 使用场所 | 清洁气流内部 | ||||||||
| 必要实用工具 | 电源（AC100-240V）、纯水、洁净干燥空气 | 电源（AC100-240V）、氮气、洁净干燥空气 | 电源（AC100-240V）、氮气、纯水、洁净干燥空气 | 电源（AC100-240V）、氮气、纯水、洁净干燥空气 | |||||
??：属于可选项目，需另行报价、/span>
?：电脑将单独报价并另行准备、/span>
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移动?/p>
工商已核宝/p>
