参考价栻/p>1万元以下
型号
VEGA品牌
产地
日本样本
暂无主要材质9/p>玻璃(Vitrified 陶瓷)结合基佒/span>
形状9/p>圅/span>
莫氏硬度9/p>9
密度(kg/m³)9/p>0.12
森泽磨具
森泽VEGA
国产磨具
看了日本 TOKYO DIAMOND 东京金刚 VEGA「贝加」多气孔玻璃结合剂砂轮的用户又看亅/p>
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在迈向低碳社会的背景下,为了实现节能目标,作为更高效功率器件基板的SiC晶圆受到了重视,其发展前景十分广阔。不过,SiC晶圆属于硬度极高的难加工材料,存在加工时间较长、用于加工的金刚石砂轮磨损严重的难题、/span>
因此,与传统的硅晶圆相比,SiC晶圆的加工成本要高得多。尤其是在需要大量切削量的晶圆平面磨削粗加工环节中,就需要具备稳定加工性能且使用寿命长的金刚石砂轮、/span>
本公司推出的多气孔玻璃粘接砂轮“贝加”,是通过独特的磨料结构控制技术研制而成的新型砂轮。在用于SiC晶圆的平面磨削过程中,它能够同时实现良好的加工效果与较长的砂轮使用寿命、br style="box-sizing: border-box; border-style: solid; border-width: 0px;"/>6英寸的SiC晶圆也可以通过该砂轮进行无磨料加工。凭借出色的耐磨性,该砂轮能够提高每块砂轮可加工的晶圆数量,从而有助于降低晶圆的加工成本、/span>
■与传统产品相比,使用寿命有显著提升(轮子磨损率低于15%(br style="box-sizing: border-box; border-style: solid; border-width: 0px;"/>■切割速度?.6微米/秒,能够实现稳定的加工效枛br style="box-sizing: border-box; border-style: solid; border-width: 0px;"/>■提供以研磨性能为重和以使用寿命为重的两种类型的产品
■已成功应用于大尺寸晶圆的粗磨工序(硅面),以及器件制造过程中的晶圆背面研磨工序(C面)
■研磨后的表面粗糙度为Ra17纳米?0纳米


研削盘 : HRG300 (东京精密)
粒度 : SD2000
轮毂尺寸?46D-2.8W-32P
轮子转速:2,000?分钟~2,500?分钟
切削速度 : 0.6μm/科/span>
切込量 : 150微米
待加工材料:6英寸SiC晶圆(4H-N)
【产品规格示例【/span>
邦德种:具气孔的玻璃质体
粒度?1000?3000(粗加工用)
【目标加工素材【/span>
SiC、GaN、GaAs、LT/LN
■兼具稳定的加工性能与长寿命
■公司内部已配备轮子评估所需的设备与环境,也可通过提供晶圆来进行评估测试、/span>
玻璃结合剂具备超微细碎化崩落特性,磨削过程中结合剂微量均匀脱落,金刚石磨粒持续露出新切削刃,全程保持稳定锋利度,长时间量产无需频繁修整? 英寸 SiC 晶圆连续磨削可免修整作业
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