自动印刷朹�/p>

-4英寸~8英寸

-LED、显示、光学器仵�/p>

-柔性树脂模�?卷对�?

-在线涂布�?旋转涂布�?

在线气体释放处理-真空辅助UV印刷(365纳米)

-50纳米图案分辨玆�/p>

-降低CoC与Co0

与光刻相比占地面积小-可与KrF、i线步进式设备相媲羍�/p>

-月产胼�30K