
温州精硅科技有限公司

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国内高纯度石英材料领域近期迎来重大突砳/span>—精硅科技依靠自主研发的高端再合成技术,实现了超高纯石英砂的稳定量产。这一成果标志着我国在光刻级石英材料领域成功突破海外技术壁垒,正式迈入国际一流行列,为中国光刻产业链注入关键‛/span>强心剁/span>“/span>、/span>
光刻机是半导体制造中精度最高、成本最昂贵的核心设备,其分辨率直接决定芯片制程水平;而光刻机光学系统的核心部仵/span>‛/span>镜头“/span>,需满足极高的透光性、热稳定性和光学均匀性,普通玻璃完全无法胜任,超高纯度合成石英?/span>是唯一选择(尤其适配极紫夕/span> EUV、深紫外DUV光刻机)、/span>
这类石英锭对材料特性要求苛刻,具体包括9/span>
纯度极高:杂质总含量需低于0.1ppm:/span>
缺陷极少:内含气泡和内部缺陷需控制在极低水平;
热稳定性极强:激光照射下热膨胀系数近乎为零、/span>
微量杂质或内部缺陷会导致光线散射、折射率变化,直接造成芯片制造良率下降甚至失败。因此,作为石英锭源头材料的超高纯石英砂,其纯度直接决定了最终光刻镜头的性能上限、/span>
天然石英矿石含有大量金属杂质(如铁、锂、钾等)及内部缺陷,需通过复杂的物琅/span> +化学提纯流程,才能达到光刻级纯度。精硅科技构建了全链条技术体系,具体流程如下9/span>
1?/span>源头把控:依托自有石英矿山,对矿石进行严格分选与破碎,精准控制晶体粒径,保障原料一致性;
2?/span>深度除杂:采用高温氯化、酸浸清洗等工艺,深度去除矿石中的金属杂质;
3?/span>再合成优匕/span>:通过高端再合成技术,在高温高压环境下让高纯硅源重新结晶,彻底消除内部气泡与杂质分布不均问题、/span>
作为国内少数具备超高纯石英砂全链条生产能力的企业,精硅科技已实现两大关键成果:
产能与纯度突砳/span>:建戏/span> 10万吨级高纯石英砂产能,并成功攻克7N纯度'/span>99.99999%)技术难关,关键杂质元素'/span>Fe?/span>K?/span>Na等)含量降至0.01ppm以下:/span>
商业化验证通过:目剌/span> 7N超纯石英砂已实现批量供应,且在多家下游镜头制造企业、半导体设备厂商中完成验证,性能比肩甚至超越国际主流厂商产品、/span>
五、行业意义:国产替代‛span style="font-family:等线">深水匹/span>的关键一?/span>
此前,超高纯石英砂长期被海外企业垄断,是我国半导体产业链自主化进程中皃/span>‛/span>卡脖孏/span>环节。精硅科技此次实现7N级超高纯石英砂的量产与商业化应用,具有两大核心意义:
1?/span>筑牢材料基础:为光刻机镜头国产化提供了关键原料支撑,填补了国内光刻级石英材料的产能与技术空白;
2?/span>提升全球竞争劚/span>:显著增弹/span>国内在高端材料领域的全球话语权,推动半导体产业链自主化向‛/span>深水匹/span>迈进、/span>
未来,随着芯片制程持续微缩、光刻技术迭代升级,对石英材料的纯度与性能要求将进一步提高。精硅科技已率先突砳/span> 7N技术门槛,后续将继续加码研发与产能扩张,助力中国半导体产业实现从材料到设备的全方位自主可控、/span>
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