工艺殴�/span>

Cmp 后清洖�/span>

型号

CAC-01

对应产品

4~8inch

清洗方式

水平流片+PVA brush

清洗工艺

RCA 或定刵�/span>

干燥方式

SRD+N₁�/span>

传输方式

Robot 进出