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浚和(上海)仪器有限公司
证:工商信息已核宝br /> 访问量:68978
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产品简今/div>
低温等离?#183;经典桶型、/span>
PR500:手动控 PR510:自动触摸屏控制
内槽
硅晶圆灰化状?/span>
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功胼/span>
及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一欽/span>
小型紧凑型的等离子处理设备、/span>
去除光刻胵/span>
部品清洗
界面活性处琅/span>
微研?/span>
硅晶圆,玻璃基板对应
用逓/span>
大口径(215mm)石英反应腔
小型一体化设计
规格9/span>
型号 |
PR500 |
PR510 |
等离子模弎/span> |
DP模式,桶彡/span> |
|
高频输出功率 |
Max500W |
|
频率 |
13.56MHz |
|
同调方式 |
自动协调 |
|
反应腓/span> |
石英215305mm |
|
反应气体 |
2系统(O2/CF4(/span> |
|
控制 |
手动 |
触模屏自动控刵/span> |
配管材质 |
不锈钢、特氟龙 |
|
外形尺寸 |
W438 x D520 x H760mm |
参照规格?/span> |
重量 |
?0kg |
参照规格?/span> |
电源 |
单相AC100V 9A |
三相AC200V 8A |
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