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YAMATO等离子清洗机PR500
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日本
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低温等离?#183;经典桶型、/span>

PR500:手动控 PR510:自动触摸屏控制

内槽

硅晶圆灰化状?/span>

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功胼/span>

及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一欽/span>

小型紧凑型的等离子处理设备、/span>

去除光刻胵/span>

部品清洗

界面活性处琅/span>

微研?/span>

硅晶圆,玻璃基板对应

用逓/span>

大口径(215mm)石英反应腔

小型一体化设计

规格9/span>

型号

PR500

PR510

等离子模弎/span>

DP模式,桶彡/span>

高频输出功率

Max500W

频率

13.56MHz

同调方式

自动协调

反应腓/span>

石英215305mm

反应气体

2系统(O2/CF4(/span>

控制

手动

触模屏自动控刵/span>

配管材质

不锈钢、特氟龙

外形尺寸

W438 x D520 x H760mm

参照规格?/span>

重量

?0kg

参照规格?/span>

电源

单相AC100V 9A

三相AC200V 8A

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