碳化硅晶体生长

推荐高品质碳化硅单晶制备需要注意哪几点？

www.188betkr.com 讯 当前碳化硅单晶的制备方法主要有：物理气相传输法（PVT）、顶部籽晶溶液生长法（TSSG）、高温化学气相沉积法（HT-CVD）。其中，PVT法具有设备简单，操作容易控制，设备价格以及运行成本低等优点，成为工业生产[更多]