外延片制备

推荐碳化硅外延有多重要？

www.188betkr.com 讯 首先，要搞清楚一个问题。为什么SiC要先制作衬底，再在衬底上外延SiC制成外延片？而不是直接切下来？简单来讲，碳化硅晶体在生长过程中会不可避免地产生缺陷、引入杂质，导致衬底材料的质量和性能都不够好，而外延层的生[更多]