深紫外线波长范围的光学系统用于生命科学、高分辨率显微镜，特别是半导体制造等各种应用。SHSCam HR4-130-GE-DUV波前传感器现在可用于这些光学器件的对准和测试：在193nm的波长下�?*10-4 J/cm²的能量密度足以让该传感器提供曝光良好的测量信号——因此，它的灵敏度是SHSCam SHR6-130-GE-DUV�?0倍、�/p>

凭� 1nm RMS的波前测量的重复性和3nm RMS的基本精度，SHSCam HR4-130-GE-DUV可用于苛刻的测量任务。它以高稳定性精确地检测光学系统中细的错位，快速表征光源，或评估由SLM或自适应镜形成的激光束的波前、�/p>

• 基本优势

  1�?6Hz波前评估率的快速单发测野�/p>

  2�?/span>高内在稳定性和可靠�?/p>

  3�?/span>高动态范围：+/- 5°倾斜�?0mm局部WF曲率

  4�?/span>行业成熟、强大的GigE总线系统

  5、功能强大、可配置的软仵�/p>

• 性能参数