产品简今/div>
精度升级
量程?.5 SCCM - 1000 SLPM＋/span>
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级９/span>
质量流量普通精?nbsp; ± 0.75% 读数或 0.1% 满量程（?*值）
质量流量高精?nbsp; ± 0.6% 读数或 0.1% 满量程（?*值）
重复?nbsp; ±?.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.03% 满量 / ℃温?/span>
± 0.01% 满量 / Atm压力?/span>
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