。曝光面积：4 英寸

。曝光波长：365nm

。分辨力�?��m（胶� 2��m的正胶）

。对准精度：��0.8��m

。掩模样片整体运动范围：X�?5mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

。样片尺寸：直径��15mm--��100mm(各种不规则片)，厚� 0.1mm--6mm

。曝光方式：定时和定剂量

。照明不均匀性： 3%���100mm 范围（�/span>

。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍， 光学+电子放大 800 倌�/span>

物镜三对�? 倍�?0 倍�?0 倌�/span>

目镜三对�? 倍�?0 倍�?0 倌�/span>

。掩模相对于样片运动行程９�/span>

X:��5mm; Y:��5mm; Thelta:��6o

。焦厚：350��m（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：3.5 o

。曝光能量密度：>20mW/cm2，照明面温度<35 o

。汞灯功率：350W（直流，进口�?3

2．外形尺寸：1200mm（长）x900mm(�? x1750mm（高（�/span>

3．配�?/span>

�?）曝光头

。冷光椭球镜

�?50W 进口直流高压汞灯(德国欧司�?

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。冷却风扆�/span>

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场�?、场� 2、冷光反射镜 1、反射镜 2

�?）对准工件台

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构， 手动

。样片调焦机构，手动

。承片台 3 个（?50mm �?75mm � ?100mm（�/span>

。掩模夹 4 个（2.5 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。基片抽拉式上下机构

�?）对准显微镜

。光源（配备� 2 只）、电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD � 21 英寸液晶显示�?/span>

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

�?）电控系绞�/span>

。汞灯触发电�?350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制箱

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附仵�/span>

。真空泵一�?/span>

。空压机一�?/span>

。管遒�/span>