URE-2000/A12 紫外单面光刻朹�/strong>

1、设备主要技术指标：

(1) 曝光面积� 300mm��300mm：�/span>

�?）分辨力９�/span>��2��m：�/span>

�?）对准精度：��2��m：�/span>

�?）掩模尺寸： 7 英寸�? 英寸�?3 英寸：�/span>

�?）样片尺寸： 6 英寸�? 英寸�?2 英寸：�/span>

�?）wafer chuck 表面：防止光反射涂层：�/span>

�?）掩模样片整体运动范围：X�?0mm;Y:10mm：�/span>

�?）掩模相对于样片运动行程：X:��5mm; Y:��5mm; Thelta:��6��：�/span>

�?）汞灯功率：1000W（直流）：�/span>

�?0）曝光能量密度：� 10mW/cm 2 ：�/span>

�?1）曝光峰值波镾�365nm：�/span>

�?2）光源平行度：＜2��：�/span>

�?3）曝光方式：定时（计时方� 0.1s�?999.9s）；

�?4）光刻版夹具兼容�?/span>

2．技术主要组成部刅�/span>

�?）曝光头系统包括:

。冷光椭球镜：�/span>

� 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯：�/span>

� XYZ 汞灯调节台；

� 光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）：�/span>

� 冷却风扇、�/span>

�?）对准工件台系统包括:

� 掩模样片相对运动台；

。（XY），转动台；

� 样片调平机构：�/span>

� 样片调焦机构：�/span>

。承片台 3 个： 6 英寸�? 英寸�?2 英寸：�/span>

� 掩模� 3 个： 7 英寸�? 英寸�?3 英寸、�/span>

�?）CCD 对准显微镜系统包�?

�? 倍显微镜 2 只；

。照明光� 2 套；

� CCD 相机 2 只；

�?2 英寸液晶显示器、�/span>

�?）电控系统：

� 汞灯触发电源(1000W)：�/span>

� 单片机控制系统；

。控制柜桌、�/span>

�?）气动系统系统包�?

� 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等

�?）其他配置与附件

。真空泵一台；

。空压机一台；

。配套气� 10m：�/span>