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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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产品分类
产品简今/div>
URE-2000 系列紫外单面光刻朹/strong>
此系列包含六种型号：URE-2000A，URE-2000B，URE-2000/35，URE-2000/35A，URE-2000/25，URE-2000/17
URE-2000/600 紫外光刻朹/span>
1、设备主要技术指标：
(1)光束口径 650mm650mm
(2)有效曝光面积?00mm600mm
(3)分辨力：?m
(4)对准精度９/span>1.5m
(5)对准显微镜中心距?5mm-600mm 可调
(6)掩模尺寸?50mm650mm
(7)样片尺寸：可适应300mm?#1060;450mm?#1060;600mm 300mm300mm?50mm450mm?00mm
600mm，厚度为 0.2mm?0mm 的多种规格样片；
(8)光源不均匀性： 95%?#1060;600mm（/span>
(9)掩模相对于样片运动行程：X:15mm; Y:15mm; Z?5mm:10o
(10)曝光面光强：>15mW/cm2（i、g、h 线）
(11)汞灯功率?500W（直流）
(12)曝光量设定方式：定时（倒计时方 0.1s-9999.9s，设定精 0.1s（/span>
2．技术主要组成部刅/span>
大面积精细胶模图形结构成型机组成主要由：高均匀照明曝光系统、对准工件台糺/span>
统、CCD 对准系统、计算机控制系统、气动控制系统及辅助设备构成。各系统构成与配?/span>如下:
?）高均匀照明系统包括９/span>
。冷光椭球镜：/span>
?500W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
XYZ 汞灯调节台；
。光学系统：椭球反射镜、光栏、快门、平面冷光反射镜 1、平面冷光反射镜 ?、蝇眼逎/span>
镜组、抛物面冷光反射镜；
。冷却风扇；
。循环水冷系统、/span>
?）对准工件台系统包括９/span>
? 掩模样片相对运动台；
? 转动台；
? 样片调平机构，自动完成；
? 样片调焦机构，自动调整；
? 承片 10 个：300mm?#1060;450mm?#1060;600mm 300mm300mm?50mm450mm?00mm
600mm：/span>
? 掩模 1 个：650mm650mm：/span>
? 抽拉式上下片机构、/span>
?）CCD 对准系统包括９/span>
? 光源、电源；
? 显微镜工作台：/span>
? 成像光学系统（两套）：/span>
? 数据采集卡；
? CCD 图像处理部件（两套）、/span>
?）电控系统包括：
? 大功率汞灯触发电源；
? 单片机控制系统；
? 薄膜开关面板；
? 控制柜桌：/span>
?）气动系统包括：
? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等：/span>
? 电磁阀驱动部件：/span>
? 气动显示仪表、/span>
?）其他配套附仵/span>
? 真空泵一台（无油泵、SK-65C 型）：/span>
? 空压机一台（静音型、YB-W30 型）：/span>
? 水冷机一台（H35W 型）：/span>
? 配套接口管道
二、URE-2000/A12 紫外光刻朹/span>
1、设备主要技术指标：
(1) 曝光面积 300mm300mm：/span>
?）分辨力９/span>2m：/span>
?）对准精度：2m：/span>
?）掩模尺寸： 7 英寸? 英寸?3 英寸：/span>
?）样片尺寸： 6 英寸? 英寸?2 英寸：/span>
?）wafer chuck 表面：防止光反射涂层：/span>
?）掩模样片整体运动范围：X?0mm;Y:10mm：/span>
?）掩模相对于样片运动行程：X:5mm; Y:5mm;:6：/span>
?）汞灯功率：1000W（直流）：/span>
?0）曝光能量密度： 10mW/cm 2 ：/span>
?1）曝光峰值波镾365nm：/span>
?2）光源平行度：＜2：/span>
?3）曝光方式：定时（倒计时方 0.1s?999.9s）；
?4）光刻版夹具兼容?/span>
2．技术主要组成部刅/span>
?）曝光头系统包括:
? 冷光椭球镜；
? 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯：/span>
? XYZ 汞灯调节台；
? 光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）：/span>
? 冷却风扇、/span>
?）对准工件台系统包括:
? 掩模样片相对运动台；
?（XY），转动台；
? 样片调平机构：/span>
? 样片调焦机构：/span>
? 承片 3 个： 6 英寸? 英寸?2 英寸：/span>
? 掩模 3 个： 7 英寸? 英寸?3 英寸、/span>
?）CCD 对准显微镜系统包?
?4 倍显微镜 2 只；
?照明光源 2 套；
? CCD 相机 2 只；
?22 英寸液晶显示器、/span>
?）电控系统：
? 汞灯触发电源(1000W)：/span>
? 单片机控制系统；
? 控制柜桌、/span>
?）气动系统系统包?
? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等
?）其他配置与附件
?真空泵一台；
?空压机一台；
? 配套气管 10m：/span>
三、URE-2000/A8 紫外光刻朹/span>
1、设备主要技术指标：
(1) 曝光面积 200mm200mm：/span>
?）分辨力９/span>2m：/span>
?）对准精度：2m：/span>
?）掩模尺寸：5 英寸? 英寸? 英寸：/span>
?）样片尺寸：4 英寸? 英寸? 英寸：/span>
?）wafer chuck 表面：防止光反射涂层：/span>
?）掩模样片整体运动范围：X?0mm;Y:10mm：/span>
?）掩模相对于样片运动行程：X:5mm; Y:5mm;:6：/span>
?）汞灯功率：1000W（直流）：/span>
?0）曝光能量密度： 15mW/cm 2 ：/span>
?1）曝光峰值波镾365nm：/span>
?2）曝光方式：定时（倒计时方 0.1s?99.9s）；
?3）调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
?4）数字设定对准间隙和曝光间隙
?5）具备压印模块接口，也具备接近模块接叢/span>
2．技术主要组成部刅/span>
?）曝光头系统包括:
? 冷光椭球镜；
? 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯：/span>
? XYZ 汞灯调节台；
? 光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）：/span>
? 冷却风扇、/span>
?）对准工件台系统包括:
? 掩模样片相对运动台；
?（XY），转动台；
? 样片调平机构：/span>
? 样片调焦机构：/span>
? 承片 3 个： 4 英寸? 英寸? 英寸：/span>
? 掩模 3 个：5 英寸? 英寸? 英寸、/span>
?）CCD 对准显微镜系统包?
?4 倍显微镜 2 只；
?照明光源 2 套；
? CCD 相机 2 只；
?22 英寸液晶显示器、/span>
?）电控系统：
? 汞灯触发电源(1000W)：/span>
? 单片机控制系统；
? 控制柜桌、/span>
?）气动系统系统包?
? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等
?）其他配置与附件
?真空泵一台；
?空压机一台；
? 配套气管 10m：/span>
四、URE-2000A 型光刻机
1．技术参?/span>
?曝光面积?50mmX150mm
?曝光波长?65nm
?分辨力：0.8-1m（胶 2m的正胶）
?对准精度９/span>0. 6m
?掩模样片整体运动范围：X?5mm;Y:15mm
?掩模尺寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
?样片尺寸：直15mm--150mm（各种不规则片）
厚度 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)
?曝光方式：定时（倒计时方式）?.1s-9999s
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功胼/span>
?照明不均匀性： 2.5%＇/span>100mm 范围），5%＇/span>150mm 范围（/span>
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对?0 倍?6 倍?0 倌/span>
?调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
?数字设定对准间隙和曝光间隘/span>
?具备压印模块接口，也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程：
X:5mm; Y:5mm;:6 ?/span>
?**胶厚?00m(SU8 ?
?光源平行性：1.2
?曝光能量密度９18mW/cm2
?冷却方式：循环水+风冷
?曝光面温度：<30C
?汞灯功率?000W（直流，进口
2．外形尺寸：1400mm（长?1200mm(? ?1950mm（高（/span>
3．配?/span>
?）曝光头
?冷光椭球镛/span>
?1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗，长寿命型)
?XYZ 汞灯调节?/span>
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镛/span>
1、场 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
?循环水冷系统
?）对准工件台
?掩模样片整体运动?/span>
?掩模样片相对运动?/span>
?转动?/span>
?样片调平机构，自动完戏/span>
?样片调焦机构，自动调
?承片 4 个（2 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
?掩模 4 个（3 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
?基片抽拉式上下片机构
?）对准显微镜
?光源（配备品 2 只）、电溏/span>
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
?物镜 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
?）CCD 对准系统(选配)
?光源（配备品 3 只）、电溏/span>
?成像光学系统（两套）
?数据采集占/span>
?三维工件台（两套（/span>
?CCD? 只）
?）电控系绞/span>
?汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)
?单片机控制系绞/span>
?控制柜桌
?计算机系统及液晶显示?/span>
?）气动系绞/span>
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
?）其他附仵/span>
?真空泵一台（无油泵）
?空压机一台（静音泵）
五、URE-2000B 型光刻机
1．技术参?/span>
?曝光面积?00mmX100mm
?曝光波长?65nm
?分辨力：0.8m（胶 2m的正胶）
?对准精度９/span>0.6m
?掩模样片整体运动范围：X?5mm;Y:15mm
?掩模尺寸?.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
?样片尺寸：直15mm--100mm（各种不规则片）
厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功胼/span>
?照明不均匀性： 2.5%＇/span>100mm 范围（/span>
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倌/span>
物镜 3 对：4 倍?0 倍?0 倍； 目镜 3 对：10 倍?6 倍?0 倌/span>
?调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
?数字设定对准间隙和曝光间隘/span>
?具备压印模块接口，也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程： X:5mm; Y:5mm;:6 ?/span>
?**焦厚?00m（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行度：1.2o
?曝光能量密度９20mW/cm
?汞灯功率?000W（直流，进口（/span>
2．外形尺寸：1400mm（长?1200mm(? ?1950mm（高（/span>
3．配?/span>
?）曝光头
?冷光椭球镛/span>
?XYZ 汞灯调节?/span>
?冷却风扇
?1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场
镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台
?掩模样片整体运动?/span>
?掩模样片相对运动?/span>
?转动?/span>
?样片调平机构，自动完戏/span>
?样片自动调焦机构
?承片 4 个（?15mm ? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
?掩模 4 个（2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
?基片抽拉式上下机枃/span>
?）对准显微镜 CCD 对准系统
?光源、电溏/span>
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
?物镜 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
?CCD
?21 英寸液晶显示?/span>
?）电控系绞/span>
?汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)
?单片机控制系绞/span>
?控制柜桌
?）气动系绞/span>
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动?/span>
?）其他附仵/span>
?真空泵一台（无油泵）
?空压机一台（静音泵）
?管道
?）技术资斘/span>
?使用维修说明书、/span>
? 显微镜使用说明书
六、URE-2000/35 型光刻机
1．技术特?/strong>——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，自动化程度高）和高校教学科砓/span>（可靠性好，演示方便）
采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消陣/span>
曝光间隙，采 350W 进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化稊/span>
度很高，操作十分方便、/span>
2．技术参?/span>
?曝光面积? 英寸
?曝光波长?65nm
?分辨力：0.8?m
?对准精度?0. 8?m
?掩模样片整体运动范围：X?5mm;Y:15mm
?掩模尺寸?.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
?样片尺寸：直 ?10mm-- ?100mm(各种不规则片)＋/span>厚度 0.1mm--5mm(可扩展为 15mm)
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功胼/span>
?照明不均匀性： 3%?100mm 范围（/span>
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对?0 倍?6 倍?0 倌/span>
?调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
?数字设定对准间隙和曝光间隘/span>
?具备压印模块接口，也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程：
X:5mm; Y:5mm;:6o
?**焦厚?00m（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行性：3.5 o
?曝光能量密度９20mW/cm2，照明面温度<35 o
?单层曝光一键完戏/span>
?采用球气浮自动找干/span>
?汞灯功率?50W（直流，进口汞灯（/span>
3．外形尺寸：1200mm（长（/span>900mm(?1750mm（高（/span>
4．配?/span>
?）曝光头
?冷光椭球镛/span>
?350W 进口直流高压汞灯(进口)
?XYZ 汞灯调节?/span>
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛/span>
1、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台
?掩模样片整体运动?/span>
?掩模样片相对运动?/span>
?转动?/span>
?样片调平机构，自动完戏/span>
?基片抽拉式上下机枃/span>
?样片调焦机构，电机自动调
?承片 4 个：15mm ? 英寸? 英寸? 英寸（可按用户要求增减）
?掩模 4 个：3 英寸? 英寸? 英寸（可按用户要求增减）
?）对准显微镜
?光源（配备品 2 只） 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
?物镜 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
?CCD 对准系统?1 寸液晶显示器
?）电控系绞/span>
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系绞/span>
?控制柜桌
?）气动系绞/span>
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
?）其他附仵/span>
?真空泵一?/span>
?空压机一?/span>
?管道
七、URE-2000/35A 型光刻机
1．技术特?/strong>——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，全自动）和高校教学科研（可靟/span>性好，演示方便）
采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消陣/span>
曝光间隙，采 350W 进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化稊/span>
度很高，操作十分方便、/span>
2．技术参?/span>
?曝光面积? 英寸
?曝光波长?65nm
?分辨力：1-1.2m（胶 2m的正胶）
?对准精度９/span>0.8m
?掩模样片整体运动范围：X?5mm;Y:15mm
?掩模尺寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
?样片尺寸：直15mm--150mm（各种不规则片），厚 0.1mm--6mm
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功胼/span>
?照明不均匀性： 6%＇/span>150mm 范围（/span>
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对?0 倍?6 倍?0 倌/span>
?调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
?数字设定对准间隙和曝光间隘/span>
?具备压印模块接口，也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程：
X:5mm; Y:5mm;:6o
?**焦厚?50m（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行性：3.5 o
?曝光能量密度９15mW/cm2，照明面温度<35 o
?单层曝光一键完戏/span>
?采用球气浮自动找干/span>
?汞灯功率?50W（直流，进口（/span>
3．外形尺寸：1200mm（长?900mm(? ?1750mm（高（/span>
4．配?/span>
?）曝光头
?冷光椭球镛/span>
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
?XYZ 汞灯调节?/span>
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜?/span>
冷光反射 1、反射镜 2
?）对准工件台
?掩模样片整体运动?/span>
?掩模样片相对运动?/span>
?转动?/span>
?样片调平机构，三点自动完戏/span>
?样片调焦机构，电机自动调
?基片抽拉式上下机枃/span>
?承片 4 个：?15mm ? 英寸? 英寸? 英寸（可按用户要求增减）
?掩模 4 个：3 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（可按用户要求增减）
?）对准显微镜
?光源（配备品 2 只） 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
?物镜 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
?CCD 对准系统?1 寸液晶显示器
?）电控系绞/span>
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系绞/span>
?控制柜桌
?）气动系绞/span>
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
?）其他附仵/span>
?真空泵一?/span>
?空压机一?/span>
?管道
八、URE-2000/35L 型光刻机
一 主要技术参数：
?）曝光面积：100mm100mm：/span>
?）照明不均匀性：3%100mm 范围）；
?）分辨力?.0m（胶 2.0m的正胶，365nm 波长（/span>
?）对准精度：?#177;0.8m：/span>
?）掩模尺寸：2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸：/span>
?）样片尺寸：直径15mm--100mm、厚 0.1mm--6mm：/span>
?）掩模相对于样片运动行程：X:5mm; Y:5mm;:6：/span>
?）掩模样片整体运动范围：X?mm;Y:6mm
?）曝光光源：紫外 LED（进口）：/span>
?0）曝光波长：365nm：/span>
?1）曝光强度：?0mW/cm2：/span>
?2）曝光定时：倒计时方?0.1s?999.9s 任意设定).
?3）调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
?4）数字设定对准间隙和曝光间隙
?5）具备压印模块接口，也具备接近模块接叢/span>
二、技术构成与配置
设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统?/span>
气动系统等部分构成、/span>
?）曝光头系统包括:
进口紫外 LED 光源模块：/span>
LED 光源整形模块：/span>
XYZ 光源位置调节台；
光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79 ?/span>
透镜）、场镜组、反射镜组）：/span>
冷却风扇、/span>
?）对准工件台系统包括９/span>
掩模样片相对运动台（XY）；
转动台；
样片调平机构，采用三爪加球气浮自动调平方式；
样片调焦机构，采用电机加传感器方式，可数字分离曝光间隙；
承片 4 个（?15mm ? 英寸? 英寸? 英寸 1 个）：/span>
掩模 4 个（2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸 1 个）、/span>
?）CCD 对准显微镜系统包括：
对准光源 LED 灯；
双目双视场对准显微镜主体：/span>
目镜 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）：/span>
物镜 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）：/span>
CCD 部件：/span>
22 英寸宽屏液晶显示器、/span>
?）电控系统包括：
单片机控制系统；
紫外 LED 电源模块：/span>
控制柜桌、/span>
?）气动系统包括：
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 、/span>
(6)．辅助设备配?
真空 1 台（干泵）；
静音空气压缩 1 台；
配套接管 10m：/span>
(7)．备品备仵/span>
对准光源 4 只（LED-1W，不包括机器自带的两只）：/span>
九、URE-2000/35AL 型光刻机
一 主要技术参数：
?）曝光面积：150mm150mm：/span>
?）照明不均匀性：4%150mm 范围）；
?）分辨力?.0m?65nm 波长（/span>
?）对准精度：?#177;0.8m：/span>
?）掩模尺寸：2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸：/span>
?）样片尺寸：直径15mm--150mm、厚 0.1mm--6mm：/span>
?）掩模相对于样片运动行程：X:5mm; Y:5mm;:6：/span>
?）掩模样片整体运动范围：X?mm;Y:6mm
?）曝光光源：紫外 LED（进口）：/span>
?0）曝光波长：365nm：/span>
?1）曝光强度：?5mW/cm2 ：/span>
?2）曝光定时：倒计时方?0.1s?999.9s 任意设定).
?3）调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
?4）数字设定对准间隙和曝光间隙
?5）具备压印模块接口，也具备接近模块接叢/span>
二、技术构成与配置
设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统?/span>
气动系统等部分构成、/span>
?）曝光头系统包括:
进口紫外 LED 光源模块：/span>
LED 光源整形模块：/span>
XYZ 光源位置调节台；
光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79 ?/span>透镜）、场镜组、反射镜组）：/span>
冷却风扇、/span>
?）对准工件台系统包括９/span>
掩模样片相对运动台（XY）；
转动台；
样片调平机构，采用三爪加球气浮自动调平方式；
样片调焦机构，采用电机加传感器方式，可数字分离曝光间隙；
承片 4 个（2 英寸? 英寸? 英寸? 英寸 1 个）：/span>
掩模 4 个（3 英寸? 英寸? 英寸? 英寸 1 个）、/span>
?）CCD 对准显微镜系统包括：
对准光源 LED 灯；
双目双视场对准显微镜主体：/span>
目镜 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）：/span>
物镜 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）：/span>
CCD 部件：/span>
22 英寸宽屏液晶显示器、/span>
?）电控系统包括：
单片机控制系统；
紫外 LED 电源模块：/span>
控制柜桌、/span>
?）气动系统包括：
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 、/span>
(6)．辅助设备配?
真空 1 台（干泵）；
静音空气压缩 1 台；
配套接管 10m：/span>
(7)．备品备仵/span>
对准光源 4 只（LED-1W，不包括机器自带的两只）：/span>
十、URE-2000/30 型光刻机
1．技术特?/span>
?高倍率双目双视场显微镜 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供 USB 输出；既满足高精度对准，叇/span>
可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储
?采用倒置式照明，更换汞灯更方便，散热和防漏光效果更好
?对准位和曝光位双工位工作，双工位自动切换
?采用嵌入式计算机+触摸屏操作，操作更方便，更时尙/span>
?上下片、版十分方便，自动化程度高，操作简便。对高校教学科研（可靠性好，演示方便）及工?效率?尤为适宜
2．技术参?/span>
?曝光面积?00mm100mm（可升级 6 英寸（/span>
?曝光波长?65nm
?分辨力：?m（胶 1.5m的正胶）
?对准精度９/span>0.6m
?显微镜扫描台运动范围：X?0mm;Y:10mm
?掩模尺寸?.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
?样片尺寸：直15mm--100mm（各种不规则片），厚 0.1mm--6mm
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功?0
?照明不均匀性： 3%＇/span>100mm 范围（/span>
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对?0 倍?6 倍?0 倌/span>
?曝光对准双工位自动切捡/span>
?调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
?数字设定对准间隙和间隘/span>
?具备压印模块接口，也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程：
X:5mm; Y:5mm;:6o
?**焦厚?00m（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行性：3 o
?曝光能量密度９25mW/cm2，照明面温度<35 oC
?单层曝光一键完戏/span>
?采用球气?三爪找平
?汞灯功率?50W（直流，进口（/span>
3．外形尺寸：1400mm（长（/span>900mm(?1500mm（高（/span>
4．配?/span>
?）曝光头
?冷光椭球镛/span>
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
?XYZ 汞灯调节?/span>
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜?/span>
冷光反射 1、反射镜 2
?）对准工件台
?光刻机底?/span>
?工位切换台（气缸（/span>
?掩模样片整体运动?/span>
?掩模样片相对运动?/span>
?转动?/span>
?样片调平机构，三点自动完戏/span>
?样片调焦机构，电机自动调
?基片抽拉式上下机枃/span>
?承片 4 个：?15mm ?40mm?60mm?100mm（可按用户要求增减）
?掩模 4 个：2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（可按用户要求增减）
?样片抽拉式上下机枃/span>
?）对准显微镜
?光源 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
?物镜 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
?CCD 对准系统?2 寸液晶显示器
?）电控系绞/span>
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系绞/span>
?控制面板
?控制柜桌
?）气动系绞/span>
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
?）其他附仵/span>
?真空泵一?/span>
?空压机一?/span>
?配套接口管道
十一、URE-2000/25 型光刻机
1．技术参?/span>
?曝光面积? 英寸
?曝光波长?65nm
?分辨力：1m（胶 2m的正胶）
?对准精度９/span>0.8m
?掩模样片整体运动范围：X?5mm;Y:15mm
?掩模尺寸?.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
?样片尺寸：直15mm--100mm(各种不规则片)，厚 0.1mm--6mm
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?照明不均匀性： 3%100mm 范围（/span>
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
?掩模相对于样片运动行程：
X:5mm; Y:5mm;:6o
?**焦厚?50m（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行性：3.5 o
?曝光能量密度９20mW/cm2，照明面温度<35 o
?汞灯功率?50W（直流，进口（/span>
2．外形尺寸：1200mm（长?900mm(? ?1750mm（高（/span>
3．配?/span>
?）曝光头
?冷光椭球镛/span>
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
?XYZ 汞灯调节?/span>
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛/span>
1、场 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台
?掩模样片整体运动?/span>
?掩模样片相对运动?/span>
?转动?/span>
?样片调平机构 手动
?样片调焦机构，手?/span>
?承片 3 个（?50mm ?75mm ?100mm（/span>
?掩模 4 个（2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
?基片抽拉式上下机枃/span>
?）对准显微镜
?光源（配备品 2 只） 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
?CCD 21 英寸液晶显示?/span>
?物镜 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
?）电控系绞/span>
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系绞/span>
?控制箰/span>
?）气动系绞/span>
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
?）其他附仵/strong>
?真空泵一?/span>
?空压机一?/span>
?管道
十二、URE-2000/17 型光刻机（台式）
1．技术参?/span>
?曝光面积? 英寸
?曝光波长?65nm
?分辨力：1.5m（胶 2m的正胶）
?对准精度９/span>1m
?掩模样片整体运动范围：X?5mm;Y:15mm
?掩模尺寸?.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
?样片尺寸：直15mm--100mm，厚 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?照明不均匀性： 5%＇/span>100mm 范围（/span>
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对?0 倍?6 倍?0 倌/span>
?掩模相对于样片运动行程：
X:5mm; Y:5mm;:6 ?/span>
?汞灯功率?00W（直流）
?曝光能量密度?mW/cm
2．外形尺寸：650mm（长（/span>600mm(?900mm（高?6
3．配?/span>
?）曝光头
?200W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
?XYZ 汞灯调节?/span>
?光学系统
?冷却风扇
?）对准工件台
?掩模样片整体运动?/span>
?掩模样片相对运动?/span>
?转动?/span>
?样片调平机构，手?/span>
?样片调焦机构，手?/span>
?承片 3 个（?50mm ?75mm ?100mm （/span>
?掩模 4 个（2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
?掩模抽拉式上下机枃/span>
?）对准显微镜
?光源（配备品 2 只）、电溏/span>
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
?物镜 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
?CCD（台湾）
?21 寸液晶显示器
?）电控系绞/span>
?汞灯触发电源(200W 直流汞灯)
?单片机控制系绞/span>
?控制机箱
?）气动系绞/span>
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
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?真空泵一?/span>
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