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掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS(/div>
报价9span>面议
品牌9/td> Fastmicro
产地9/td> 荷兰
关注度: 170
型号9/td> FM-PR-PDS
核心参数

分辨率:100nm

测量时间9span>可在数秒内完 4 12 英寸掩膜版|保护膜成僎/span>

测量范围9span>够检 0.1µm 聚苯乙烯乳胶(PSL)等效颗粒( NIST 认证(/span>

产品介绍

Fastmicro掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS(/span>


为掩膜版、掩膜版保护膜以及基板(衬底)制造工艺,提供高通量的表面颗粒污染检测服务、/p>

该系统对粒径大于 0.1µm 的颗粒具有高灵敏度,是一种高效且提供全方位服务的选择。它能以手动或自动的操作方式,以及较低的维护成本,取代传统的颗粒检测系统、/p>


产品特点9/p>

  • 高通量检测:每小时可检 400 片晶圆(WPH(/p>

  • 数据输出:根 ISO 14644-9 标准,在用户界面 PDF 报告输出 SCP 等级

  • 正反两面检测:单次测量中完成正反两面检测(无需翻转(/p>

  • 检测范围:能够检 0.1µm 聚苯乙烯乳胶(PSL)等效颗粒( NIST 认证(/p>


生产过程中的一致性测野/span>

快逞能在数秒内完成大面积成像

定量:适用于生产和研发环境中的质量鉴定与监浊/span>

操作简侾不受操作人员影响,自动化,洁净抓取方式

精准:高分辨率测量(数量、位置、尺寸)

一致?每次测量都保持客观、稳宙/span>

高通量:能在工艺时间窗口内得出结枛/span>



FM-PDS掩膜-产品.png

FM-PDS: 直接检测表面颗粑/span>

该系统可为晶圆制造工艺、下一代化合物半导体以及先进封装应用,提供高通量的表面颗粒污染检测服务?nbsp;

该系统对粒径大于 0.1μm的颗粒具有高灵敏度,是一种高效且提供全方位服务的选择、/span>

它能以手动或自动的操作方式,以及较低的维护成本,取代传统的颗粒检测系统?nbsp;

对于下一代半导体生产应用 PDS 系统具备独特的属性:双面?nbsp;时扫描(选配);

静态视场扫描(在图像采集过程中无需移动产品)、/span>



问商宵/div>
  • 掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)的工作原理介绍>/li>
  • 掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)的使用方法>/li>
  • 掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)多少钱一台?
  • 掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)使用的注意事项
  • 掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)的说明书有吗?
  • 掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)的操作规程有吗>/li>
  • 掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)的报价含票含运费吗>/li>
  • 掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)有现货吗?
  • 掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)包安装吗?
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工商信息
企业名称

复纳科学仪器(上海)有限公司

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91310115594714659N

法人代表

樊丽丼/p>

注册地址

上海市闵行区申滨?8?04单元

成立日期

2012-04-19

注册资本

500??

有效期限

2012-04-19 2042-04-18

经营范围

一般项目:仪器仪表、实验室设备、电子产品及相关零配件的研发和销售;从事仪器仪表技术领域内的技术开发、技术推广、技术咨询、技术转让、技术服务、技术交流;货物进出口;技术进出口;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

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