测量行程＇�span style=";padding: 0px;border: 0px;font: inherit;vertical-align: baseline">mm（�/span>

250 x 150 x 200

300 x 200 x 200

400 x 300 x 200

外形尺寸＇�span style=";padding: 0px;border: 0px;font: inherit;vertical-align: baseline">mm（�/span>

750 x 575 x 1650

805 x 635 x 1650

931 x 735 x 1650

重量＇�span style=";padding: 0px;border: 0px;font: inherit;vertical-align: baseline">kg（�/span>

230

300

380

工作台承重（kg（�/span>

30

30

30

运动控制

全闭环四轴自动控刵�/span>

测量精度（λ�span style=";padding: 0px;border: 0px;font: inherit;vertical-align: baseline">m（�/span>

X/Y轳�/span>

E2 = (1.5 + L/200)

Z轳�/span>

E1 = (3.0 + L/200)

**速度＇�span style=";padding: 0px;border: 0px;font: inherit;vertical-align: baseline">mm/s（�/span>

X/Y轳�/span>

300

Z轳�/span>

200

光源控制

表面先�/span>

五环八区四十项程控式LED冷光溏�/span>

轮廓先�/span>

程控弎�span style=";padding: 0px;border: 0px;font: inherit;vertical-align: baseline">LED平行冷光源，256级可谂�/span>

同轴先�/span>

可选配

放大倍率

光学放大0.7 ~ 4.5x，影像放�?span style=";padding: 0px;border: 0px;font: inherit;vertical-align: baseline">22 ~ 145x

影像系统CCD

高灵敏度高分辨率1/2�?nbsp;黑白/彩色CCD

光栅尹�/span>

分辨玆�span style=";padding: 0px;border: 0px;font: inherit;vertical-align: baseline">0.1μm Renishaw光栅尹�/span>

软件

FRIMS专用测量软件＇�span style=";padding: 0px;border: 0px;font: inherit;vertical-align: baseline">FVA-S版）

工作环境

温度

20±2ℂ�/span>

湿度

30% ~ 80%

振动

；�span style=";padding: 0px;border: 0px;font: inherit;vertical-align: baseline">0.002g,低于15Hz

电源

210V ~ 230V, 50Hz/60Hz