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微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系 — B垊/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 华宇东升
产地9/td> 四川
关注度: 793
型号9/td> 微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系 — B垊/td>
产品介绍

性能特点9/strong>

֍采用特殊材质反应腔,能耐高?/span>

֍高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生镾/span>

֍使用高精度气体流量计,高稳定?/span>

֍采用纯净的石英窗


主要技术参数:

微波功率 0.6kW 6kW 连续可调 2.45 GHz
反应腓/span> 圆柱形反应腔
真空漏率 ?×10-10Pa·m3/s
气体质量流量控制 标配5路,可定刵/span>
工作气压 1kPa - 30kPa
基板台类垊/span> 水冷式基板台
标准衬底扗/span> **支持60mm直径圆台面积稳定沉积
样品?/span> 多层升降
操作系统 PLC控制系统
样品台升降功胼/span> 有,可逈/span>
样平台旋转功胼/span> 月/span>
旋转模式 连续旋转、间歇旋?/span>
旋转角度 360°
旋转速度 0-20?分,可调芁/span>


问商宵/div>
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工商信息
企业名称

成都华宇东升微波设备有限公司

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信用代码

91510122582641763W

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