硬件规格

◆恒温区长度:2800mm

◆温区数野�6个温匹�/span>

�?*温度:1050ℂ�/span>

◆温度均匀�?800℃~1050℃�?.5ℂ�/span>

◆晶圆装载法:软着际�/span>

◆桨�?*承重野�70kg

◆工艺腔和舟的材�?石英箠�/span>

主要特点

◆产胼�1400~1680pcs/箠�/span>

◆管�?6箠�/span>

◆压力控刵�APC控制方式

◆系统控刵�PLC和PC工控朹�/span>

◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II筈�/span>

◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方桇�/span>

工艺规范

◆方阻倻�50~350Ω/cmsg

◆极限真穹��?0mbar

◆方阻均匀�?<5%(片内/片间/批间)

优势

◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产

◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力

◆方形插片软着陆工艺，均匀性好，技术方案成熟稳宙�/span>

◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务,确保设备长期稳定使用

硬件规格

◆恒温区长度:2800mm

◆温区数野�6个温匹�/span>

�?*温度:1050ℂ�/span>

◆温度均匀�?800℃~1050℃�?.5ℂ�/span>

◆晶圆装载法:软着际�/span>

◆桨�?*承重野�70kg

◆工艺腔和舟的材�?石英箠�/span>

主要特点

◆产胼�1400~1680pcs/箠�/span>

◆管�?6箠�/span>

◆压力控刵�APC控制方式

◆系统控刵�PLC和PC工控朹�/span>

◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II筈�/span>

◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方桇�/span>

工艺规范

◆方阻倻�50~350Ω/cmsg

◆极限真穹��?0mbar

◆方阻均匀�?<5%(片内/片间/批间)

优势

◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产

◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力

◆方形插片软着陆工艺，均匀性好，技术方案成熟稳宙�/span>

◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务,确保设备长期稳定使用