优势

◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产

◆专业的高效电池制速�/span>

◆良好的膜厚均匀性，较长的恒温区

◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的服务和支持确保了长期**的生产能劚�/span>

◆Ivoc:>740mV(钝化�?

主要特点

◆产胼�2200~2880pcs/箠�/span>

◆管�?5�?6箠�/span>

◆硅片尺寷�182-230mm硅片

◆压力控刵�APC控制

◆系统控刵�PLC和PC控制基础

◆通讯:Melsec，MES，I/O，SECS-II筈�/span>

◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方桇�/span>

◆运行时间：97%

硬件规格

�?*温度:800ℂ�/span>

◆温度均匀�?500℃~700℃�?.5ℂ�/span>

◆晶圆装载法:碳化硅悬臂桨

工艺规范

◆膜厙�1000A~3000A

◆厚度均匀�?<5%(片内/片间/批间均匀�?

◆未掺杂多晶�?硅烷)

◆N型掺杂多晶硅PH3

◆P型掺杂多晶硅B2H6