1 平/span>

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已认?/p>

SiC外延炈/div>
报价9span>面议
品牌9/td>
产地9/td> 广州
关注度: 588
型号9/td> YS-E08S01
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件9span>其他

烧结气氛9span>其他

产品介绍

粤升设备自主研发的SiC外延炉,外延炉已获得多家外延生长厂家批量订单,生长的SiC外延片质量达到国?*水平,满足SBD和MOSFET器件的制备要求、/p>


设备名称:SiC外延炈/p>

设备型号:YS-E08S01

设备功能:CVD法生长SiC同质外延

衬底尺寸:6吋兼?吊/p>

片内厚度不均匀?<2%片内掺杂浓度不均匀?<5%形貌缺陷密度:<1?平方c㎠/p>


·具备n、p型及高速率的外延生长能劚/p>

·RUN TO RUN性能优异

高均匀性、低缺陷的SiC外延质量

,供液一体化系统+/p>


问商宵/div>
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  • SiC外延炉包安装吗?
广州粤升半导体设备有限公?为您提供SiC外延炉,SiC外延炉产地为广州,属于粉体焙烧炉,除了SiC外延炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供液相法SiC单晶炉
工商信息
企业名称

广州粤升半导体设备有限公?

企业类型

信用代码

91440101MA9Y3AURX7

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