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标准型涂胶显影机
报价9span>面议
品牌9/td> 大族半导佒/td>
产地9/td> 广东
关注度: 220
型号9/td> 标准型涂胶显影机
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产品介绍

主要特点9/p>

设备特点9/p>

1、占地小、稳定性高、操作与维护方便

2、可广泛用于硅, 碳化硅, 氮化镓,砷化镓,玻璃等材料的涂胶显影工艺

3、可覆盖0.35um以上工艺需求,满足2~6寸晶圆需求,可涂?~20000CP光刻胵/p>

4、控制精度高,实时控制解决方案,Ether CAT 通讯,高精度摆臂及传输机枃/p>

5、自主可控的技术方案,自主开发的软件系统,充分满足定制化要求

主要参数:

主要参数

片盒数量

2&3CS

wafer 类型

圆片、方牆/span>

wafer 尺寸(mm(/span> 50-150
产能(WPH(/span> 110
衬底材料 Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
适用工艺 g-line、i- line、PI


设备特点9/p>

1、占地小、稳定性高、操作与维护方便

2、可广泛用于硅, 碳化硅, 氮化镓,砷化镓,玻璃等材料的涂胶显影工艺

3、可覆盖0.35um以上工艺需求,满足2~6寸晶圆需求,可涂?~20000CP光刻胵/p>

4、控制精度高,实时控制解决方案,Ether CAT 通讯,高精度摆臂及传输机枃/p>


问商宵/div>
  • 标准型涂胶显影机的工作原理介绍?
  • 标准型涂胶显影机的使用方法?
  • 标准型涂胶显影机多少钱一台?
  • 标准型涂胶显影机使用的注意事顸/li>
  • 标准型涂胶显影机的说明书有吗>/li>
  • 标准型涂胶显影机的操作规程有吗?
  • 标准型涂胶显影机的报价含票含运费吗?
  • 标准型涂胶显影机有现货吗>/li>
  • 标准型涂胶显影机包安装吗>/li>
广东大族半导体装备科技有限公司为您提供大族半导体标准型涂胶显影机,标准型涂胶显影机产地为广东,属于半导体行业专用仪器,除了标准型涂胶显影机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供碳化硅晶圆改质切割设备、全自动激光打孔机、飞秒激光增强玻璃蚀刻通孔机(FLEE-TGV)
工商信息
企业名称

广东大族半导体装备科技有限公司

企业类型

信用代码

91440300MA5ERHJL5B

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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