一、主要用逓�/strong>

　　主要用于蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研�?抛光，尤其适用于超薄工件的加工、�/p>

　　二、产品特炸�/strong>

　　1、压力精密控制：PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;

　　2、上盘减震装置：动静态均适用的减振弹性连接方弎�

　　3、精密传动系统：高精度小齿隙全齿轮传�?

　　4、下盘支撑：高精度平面流体轴承支撐�

　　5、销齿传动：内外齿采用销齿传动，延长载体使用寿命，维护便捶�

　　6、传动系统：三电机同步拖动，上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转，也可反�?转速可任意设定，具有配方功能、�/p>

　　三、技术参�?/strong>

　　1、压力精密控制：PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;

　　2、上盘减震装置：动静态均适用的减振弹性连接方弎�

　　3、精密传动系统：高精度小齿隙全齿轮传�?

　　4、下盘支撑：高精度平面流体轴承支撐�

　　5、销齿传动：内外齿采用销齿传动，延长载体使用寿命，维护便捶�

　　6、传动系统：三电机同步拖动，上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转，也可反�?转速可任意设定，具有配方功能、�/p>

　　1、压力精密控制：PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;

　　2、上盘减震装置：动静态均适用的减振弹性连接方弎�

　　3、精密传动系统：高精度小齿隙全齿轮传�?

　　4、下盘支撑：高精度平面流体轴承支撐�

　　5、销齿传动：内外齿采用销齿传动，延长载体使用寿命，维护便捶�

　　6、传动系统：三电机同步拖动，上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转，也可反�?转速可任意设定，具有配方功能、�/p>