技术特点：

�?nbsp; 亚微米线宽工艹�/p>

�?nbsp; 高均匀性和一致�?/p>

�?nbsp; 去离子水减少高达80%

�?nbsp; 工艺介质减少高达80%

�?nbsp; 封闭式系绞�/p>

�?nbsp; 可柔性多腔室组合

设备用途：

�?nbsp;闪蚀工艺

�?nbsp;清洗工艺

�?nbsp;剥膜工艺

�?nbsp;显像工艺

技术特点：

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�?nbsp; 去离子水减少高达80%

�?nbsp; 工艺介质减少高达80%

�?nbsp; 封闭式系绞�/p>

�?nbsp; 可柔性多腔室组合

设备用途：

�?nbsp;闪蚀工艺

�?nbsp;清洗工艺

�?nbsp;剥膜工艺

�?nbsp;显像工艺

技术特点：

�?nbsp; 亚微米线宽工艹�/p>

�?nbsp; 高均匀性和一致�?/p>

�?nbsp; 去离子水减少高达80%

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�?nbsp; 封闭式系绞�/p>

�?nbsp; 可柔性多腔室组合

设备用途：

�?nbsp;闪蚀工艺

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�?nbsp;剥膜工艺

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