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M82 750B 6K气相沉积设备

报价９�span>面议

品牌９�/td>	顺心谶�/td>
产地９�/td>	上海
关注度：	48
型号９�/td>	M82 750B 6K

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M82 730 6K气相沉积设备

产品介绍

技术参�?/p>

项目	数据
设备型号	M82 750B 6K
操作系统	SXG-MPCVD控制系统
微波频率	2450MHz,输出功率�?KW
反应腓�/td>	承载功率�?0KW
生长�?/td>	Φ2英寸
工作压力	10-200Torr
标准气路	5�?6路（可定制）
测温系统	红外测温，测温范�?00�?400ℂ�/td>
系统真空密封性（氦质谱捡漏）	<1×10-9 Torr.l/sec
真空泴�/td>	17.1 m3/H
设备尺寸	1500MM（长�?800MM（深�?1980MM（高（�/td>
设备重量	490KG

问商宵�/div>

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