产品介绍９�/p>

可放�?时�?2时硅衬底，用于生长硅基半导体用器仵�br style="padding: 0px;"/>

适用机型９�/p>

Epsilon 2000 等同系列机台

产品参数９�/p>

基材：等静压石墨(纯度 >6N)
涂层：�?SiC(厚度=100±10 μm)
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力弹�/p>

使用寿命：和进口同款产品相当

湖南联合半导体科技有限公司
· 公司成立� 2021平�/span>
· 主要产品:石墨、SiC和TaC涂层石墨成品
· 包含研发、生产、销售和服务,
· 为半导体和LED行业提供零部件、�/span>