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PD-450/600H热丝化学气相沉积设备

报价９�span>面议

品牌９�/td>	普迪真空
产地９�/td>	湖北
关注度：	253
型号９�/td>	PD-450/600H热丝化学气相沉积设备

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产品介绍

产品摘要

该设备采用热丝法化学气相沉积技术，主要用来生长金刚石膜、类金刚石膜、氮化硅和氧化硅膜等。该设备适合于小批量生长大尺寸片状多晶金刚石厚膜、刀具表面生长金刚石膜、纳米金刚石膜等、�/p>

产品介绍

设备特点９�/p>

★升降结构平稳，样品台水平度好，利于生长较均匀厚膜丝架采用特殊结构，热丝的平行度好能长期稳定工佛�/p>

★更合理的气路布局及更贴合生产工艺的细节考虑，可长期稳定工作

★软件配置西门子PLC+10寸西门子触摸显示屏，操作界面友好，所有操作均可在触摸屏上完成

★实现�?00-300mm基片范围内均匀沉积

设备参数９�/p>

★腔体尺寸：φ450×H350mm/φ650×H500mm

★基片台�?50mmx150mm/200mmx200mm

★温度：热丝温度1800�?2500℃衬底温�?00�?1000�?电源型式专用热丝电源15/25kw

问商宵�/div>

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企业名称

武汉普迪真空科技有限公司

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91420100MA4KN2CF2B

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