多弧离子镀技术的工作原理主要基于冷阴极真空弧光放电理论。图1为多弧离子镀工作原理示意图，点燃真空电弧后，阴极靶材表面上出现一些不连续、大小和形状多样、明亮的斑点,它们在阴极表面迅速地做不规则的游�?一些斑点熄灭时又有些斑点在其他部位形成，维持电弧的燃烧。阴极斑点的电流密度�?04~105A/cm2,并且�?000m/s的速度发射金属蒸气，其中每发射10个电子就可发�?个金属原�?然后这些原子再被电离成能量很高的正离子（如Ti+�?正离子在真空室内运行时与其他离子结合（如与N-形成TiN），沉积在工件表面形成涂层�?nbsp;