氧（O₂）含量（体积分数）/10^-2�?/p>

99.5

99.2

水（H₂O（�/p>

无游离水

纯氧

高纯�?/p>

超纯�?/p>

氧（O₂）纯度（体积分数）/10^-2�?/p>

99.995

99.999

99.999 9

氢（H₂）含量（体积分数）/10^-6≣�/p>

1

0.5

0.1

氩（Ar）含量（体积分数�?10^-6≣�/p>

10

2

0.2

氮（N₂）含量（体积分数）/10^-6≣�/p>

20

5

0.1

二氧化碳（CO₂）含量（体积分数）/10^-6≣�/p>

1

0.5

0.1

总烃含量（体积分数）（以甲烷计）/10^-6≣�/p>

2

0.5

0.1

水分（H₂O）含量（体积分数�?10^-6≣�/p>

3

2

0.5