1 å¹³ü/span>

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已认�/p>

晶体生长炈ü/div>
报价9üspan>é¢è®®
å“牌9ü/td> æ€èŽ±å…Šü/td>
产地9ü/td> 上海
关注度: 17
åž‹å·ï¼™ü/td> 晶体生长炈ü/td>
æ ¸å¿ƒå‚æ•°

éžé‡‘属电热元件:其他

金属电热元件9üspan>å…¶ä»–

烧结气氛9üspan>å…¶ä»–

产å“介ç»

晶体生长炉的信æ¯ä»‹ç»

晶体生长炉主è¦ç”¨äºŽåŠå¯¼ä½“ææ–™çš„å“ä½“ç”Ÿé•¿ï¼Œé€šè¿‡ç²¾ç¡®æŽ§åˆ¶æ¸©åº¦ã€æ°”氛和机械è¿åŠ¨ç­‰æ¡ä»¶ï¼Œå®žçŽ°é«˜è´¨é‡å•å“的生长。该设备在åŠå¯¼ä½“产业中具有é‡è¦åœ°ä½ï¼Œæ—¢å¯ç”¨äºŽç¢³åŒ–硅(SiCï¼‰å•æ™¶ç”Ÿé•¿ï¼Œä¹Ÿå¯ç”¨äºŽå•晶硅(Si)生长,但两者的生长工艺ã€è®¾å¤‡è®¾è®¡å’ŒæŠ€æœ¯éš¾åº¦å­˜åœ¨æ˜¾è‘—差异ã€ü/span>

晶体生长炉的特点优势

晶体生长炉主è¦ç”±ç‚‰ä½“ã€åŠ çƒ­ç³»ç»Ÿã€çœŸç©ºç³»ç»Ÿã€æ°”æ°›æŽ§åˆ¶ç³»ç»Ÿã€æœºæ¢°è¿åŠ¨æœºæž„ä»¥åŠæŽ§åˆ¶ç³»ç»Ÿç­‰ç»„æˆã€‚å„部分ååŒå·¥ä½œï¼Œç¡®ä¿æ™¶ä½“ç”Ÿé•¿è¿‡ç¨‹çš„ç¨³å®šæ€§å’Œå¯æŽ§æ€§ã€ü/span>

晶体生长炉的结构特点

炉体

加热系统

真空系统

气氛控制系统

采用高强度ã€é«˜è€è…èš€æ€§çš„ææ–™åˆ¶æˆï¼Œèƒ½å¤Ÿæ‰¿å—高温和真空环境下的长期工作ã€ü/span>

é‡‡ç”¨å…ˆè¿›çš„åŠ çƒ­æŠ€æœ¯å’Œææ–™ï¼Œæä¾›ç¨³å®šã€å‡åŒ€çš„åŠ çƒ­çŽ¯å¢ƒï¼Œç¡®ä¿æ™¶ä½“生长所需的温度æ¡ä»¶ã€ü/span>

具备高效的真空抽气和ä¿åŽ‹èƒ½åŠ›ï¼Œä¸ºæ™¶ä½“ç”Ÿé•¿æä¾›æ‰€éœ€çš„真空环境ã€ü/span>

能够精确调节炉内气氛的组æˆå’ŒåŽ‹åŠ›ï¼Œä»¥æ»¡è¶³ä¸åŒæ™¶ä½“生长的需求ã€ü/span>

晶体生长炉的工艺应用

物料气相传输法(PVTï¼‰çš„åŸºæœ¬åŽŸç†æ˜¯ï¼šå›ºæ€åŽŸæ–™åœ¨é«˜æ¸©åŒºå‡åŽâ†’气相组分传输至低温区→在籽晶表é¢ç»“æ™¶ã€ü/span>

晶体生长炉在气相传输法(PVT)的工艺应用

原料å‡åŽæŽ§åˆ¶

气相传输环境

结晶界é¢ä¼˜åŒ–

中频感应加热ï¼?600℃以上)使SiC原料(粉末或å—体)在石墨å©åŸšå†…高效å‡åŽï¼Œå½¢æˆSiâ‚‚Cã€SiC₂等气相组分ã€ü/span>

10â»Â³Pa级真空å‡å°‘æ‚质干扰,惰性气体分压调节气相传输动力学ã€ü/span>

籽晶旋转改善结晶å‡åŒ€æ€§ï¼Œå©åŸšå‡é™è°ƒèŠ‚åŽŸæ–™åˆ°ç±½æ™¶é—´è·ï¼Œç»´æŒ**生长界é¢ã€ü/span>

晶体生长炉高温加热系统分区温控(±0.1℃精度)通过梯度温度场,确ä¿å‡åŽé€ŸçŽ‡ç¨³å®šã€ü/span>

晶体生长炉的真空与气氛控制系统实时监测气相æˆåˆ†ï¼Œé—­çޝå馈控制气体æµé‡ã€ü/span>

æ™¶ä½“ç”Ÿé•¿ç‚‰å¯æŽ§åˆ¶ç±½æ™¶æ†ä¸Žå©åŸšè¿åŠ¨ï¼Œå®žçŽ?.5mm/h生长速率精度,é¿å…晶体应力缺陷ã€ü/span>


直拉法(CZï¼‰çš„åŸºæœ¬åŽŸç†æ˜¯ï¼šé€šè¿‡ç²¾ç¡®æŽ§åˆ¶ç†”ä½“æ¸©åº¦ã€æ™¶ä½“ææ‹‰é€Ÿåº¦å’Œæ—‹è½¬ç­‰å‚数,实现高质é‡å•晶的生长ã€ü/span>

晶体生长炉在直拉法(CZ)的工艺应用

原料熔èž

籽晶引晶

晶体生长

高纯度多晶硅(或锗)在å©åŸšä¸­åŠ çƒ­è‡³ç†”ç‚¹ä»¥ä¸Šï¼ˆç¡…ï¼š1414℃)形æˆç†”体ã€ü/span>

将定å‘åˆ‡å‰²çš„ç±½æ™¶æµ¸å…¥ç†”ä½“ï¼Œç¼“æ…¢ææ‹‰å¹¶æ—‹è½¬ï¼Œè¯±å¯¼ç†”体沿籽晶结晶方å‘生长ã€ü/span>

é€šè¿‡æŽ§åˆ¶æ¸©åº¦æ¢¯åº¦ã€ææ‹‰é€Ÿåº¦ï¼ˆæ¯«ç±?分钟级)和旋转速度,形æˆåœ†æŸ±å½¢å•æ™¶é”­ã€ü/span>

晶体生长炉高温加热系统æä¾?600℃以上的高温,需å‡åŒ€åŠ çƒ­å©åŸšã€ü/span>

晶体生长炉控制籽晶è¿åŠ¨ï¼Œææ‹‰é€Ÿåº¦å½±å“晶体直径和缺陷密度)。旋转方å‘与å©åŸšå呿—‹è½¬ä»¥æ”¹å–„å‡åŒ€æ€§ã€ü/span>

晶体生长炉优化温度梯度,å‡å°‘热应力导致的缺陷。控制å©åŸšæ—‹è½¬ä¸Žå‡é™ä¿ƒè¿›ç†”体对æµï¼Œæé«˜æŽºæ‚å‡åŒ€æ€§ã€ü/span>


问商宵ü/div>
  • 晶体生长炉的工作原ç†ä»‹ç»ï¼žü/li>
  • 晶体生长炉的使用方法>ü/li>
  • 晶体生长炉多少钱一å°ï¼Ÿ
  • 晶体生长炉使用的注æ„事项
  • 晶体生长炉的说明书有å—?
  • 晶体生长炉的æ“作规程有å—>ü/li>
  • 晶体生长炉的报价å«ç¥¨å«è¿è´¹å—>ü/li>
  • 晶体生长炉有现货å—?
  • 晶体生长炉包安装å—?
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