NE-PE150L真空等离子清洗机包括反应室、射频电源及匹配系统、真空系统、工艺气路系统、压力控制系统、电气控刵�/p>

系统等，等离子清洗工艺是直接把高能等离子体流施加到被清洗表面以达到等离子体清洗的目的。选择不同的气体种籺�/p>

和配比，可以满足很多等离子体清洗的要求。例妁�用氧气等离子体可以使有机物沉积被氧化授�用惰性的氩气等离孏�/p>

体可以使颗粒污染被机械地冲洗掉，用氢气等离子体可以消除金属表面氧化，等等。应用等离子体清洗金属、陶瓷和塐�/p>

料表面的有机物，大大增强了这些材料表面的附着力和键合力、�/p>