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NDR-4000 (M) DRIE深反应离子刻蚀
NDR-4000 (A)全自动DRIE深反应离子刻蚀
NRE-4000 (ICPA)全自动ICP刻蚀系统
NIE-3000 IBE离子束刻蚀
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LSC-5000 (AD)全自动兆声大基片湿法去胶系统
LSC-5000 (AC)全自动兆声大基片清洗系统
SWC-3000 (M)兆声掩模板清洗机
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NPC-4000 (A)全自动等离子清洗机去胶机
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NTE-3500 (A)全自动热蒸发系统
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NTE-3000热蒸镀系统
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NMC-3000 MOCVD金属有机化学气相沉积系统
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NIE-3500 (AC)全自动离子束清洗系统
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NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统
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NDR-4000 (M) DRIE深反应离子刻蚀
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NDR-4000 (A)全自动DRIE深反应离子刻蚀
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