Optical Coating System/光学涂覆系统

NANO-MASTER(那诺-马斯�?NOC-4000光学涂覆系统提供***的技术，系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动�?下载片功能。在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空、�/p>

产品应用９�/strong>

• 光学涂层

• 溅射

• IBAD离子束辅助沉�?/p>

• 离子束刻蚀清洗

• 离子束辅助反应刻蚀

• 红外涂层

• 表面处理

产品特点９�/strong>

• RF射频偏压样品�?/p>

• 膜厚监测�?/p>

• 极限真空5x10-7Torr

• 高精度及高重复�?/p>

• 高品质膜屁�/p>

• 原子级的洁净表面

• 原子级清洗和抛光

• 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制

• 自动上下载片

• 两个腔体之间自动传�?/p>

• 菜单驱动�?级密码访问保抣�/p>

• 完整的安全联�?/p>

• 占地面积46”D x 44”W

选配项：

• 向下/向上溅射

• 共溅尃�/p>

• DC，RF以及脉冲电源

• 离子束辅助沉�?/p>

• 电子束源

• 等离子源