光学系统阵容多样：可提供 BF（明场）/DF（暗场）/DIC（微分干涉对比）/ 特殊光学系统、�/p>

检测工具：具备 AI-ADC 功能、多种数据输� / 输出接口、检测结果分析系统及配方共享功能、�/p>

特殊晶圆适配：支持薄晶圆 / 翘曲晶圆检测，可适配面板检测、�/p>

类型：硅晶圆、化合物晶圆、玻璃等

目标缺陷尺寸�?gt;0.5 微米

检� throughput（产能）�?gt;200 � / 小时