特长

NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气、�/p>

低噪音、低振动

优良的耐腐蚀�?/p>

标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度、�/p>

选购仵�/p>

可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器、�/p>

用逓�/p>

�?nbsp; 活性气体（CVD、刻蚀等）、�/p>

�?nbsp; 排出非活性气体（溅射镀膜�?nbsp; 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）、�/p>

�?nbsp; 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等（�/p>

�?nbsp; 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）、�/p>

�?nbsp; 冷冻干燥等水蒸气排气、�/p>