特长

• 非接触式测量不透明、粗糙，易变形的样品

• 反复性・再现性高

• 无标准曲线也可知�?*厚度

• 测量径很小，不受斑点的影哌�/p>

• 样品位置无需调整，放进去即可、�/p>

• 稳定性高，不会产生误差，所以谁都能操作、�/p>

• 光学方式原理所以安�?/p>

式样

构成图・原理

构成国�/p>

任何人都会测野�/span>

原理

将光分别照射样品上下�?br/>测量距离基准面的距离、�br/>d=dall-(d1+d2)

比较测量方法

样品例子和测量方法的比较

		非接触光学膜厚仪	接触式膜厚仪	X线式膜厚�?/th>	変位訇�/th>
样品	凝胶牆�/th>	◊�/td>	×	◊�/td>	◊�/td>
	不织市�/th>	◊�/td>	×	◊�/td>	×
	金属松�/th>	◊�/td>	◊�/td>	◊�/td>	◊�/td>
	树脂	◊�/td>	◊�/td>	◊�/td>	◊�/td>
	多孔�?/th>	◊�/td>	▲�/td>	◊�/td>	×
	陶瓷	◊�/td>	◊�/td>	◊�/td>	×
	紙・�?/th>	◊�/td>	◊�/td>	◊�/td>	×
测量 杠�br/>仵�/th>	测量时间	� 高逞�/td>	◊�/td>	◊�/td>	◊�/td>
	非接触测野�/th>	� 非接�?/td>	×	◊�/td>	◊�/td>
	前处琅�/th>	� 不要	◊�/td>	×	◊�/td>

测量案例