等离子体监控系统

PlasCalc 等离子体监测控制仪，实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量，通过高级过程控制系统及精密数据存取算法，只需3ms就可以获得测量结果、�/p>

特点

1、光学分辨率1.0nm(FWHM)

2、光谱范� 200-1100nm

3、快速的建模及存储实验方泔�/p>

Recipe编辑�?/h2>

Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等，能够快速简单的构建模块过程控制、�/p>

多种工具用于等离子体诊断

随PlasCalc配置的操作软件，集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器（可以单独购买）用于类型确认，而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息、�/p>

PlasCalc 配置说明

光谱范围:	200-1100 nm
光学分辨玆�	1.0 nm (FWHM)
D/A 转换:	14 bit
数字I/O:	8 x TTL
模拟输出:	4 x [0-10V]
接口:	USB 1.1
功耖�	12 VDC @ 1.25 A