EXACTUS®光学高温计主要设计用于OEM晶圆温度测量应用，在非接触式温度测量方面具有显著的性能优势。许多正在申请的**涵盖了这些突破，这些突破在准确性、可重复性和稳定性方面具有行�?*的性能。我们的性能优势使我们能够成功地测量许多应用中的过程

EXACTUS®光学高温计主要设计用于OEM晶圆温度测量应用，在非接触式温度测量方面具有显著的性能优势。许多正在申请的**涵盖了这些突破，这些突破在准确性、可重复性和稳定性方面具有行�?*的性能。我们的性能优势使我们能够成功地测量许多应用中的过程

EXACTUS®提供９�/span>

• 使用短波长进行低温测量（25°C 或更高）

• 使用 200nm 红外辐射测量低至 900°C 的单晶硅

• 精度高，分辨率高�?.001°C，精度高�?.5°C

• 速度高达每秒 1�?00 个读�?/span>

• 在任何给定波长下具有宽动态范図�/span>

• 测温重复� 0.1 ºC , 温漂不高� 0.1 ºC

• 精密度高, 分辨率达 0.01 ºC , 测温精度1.5 ºC

典型应用

硅晶生长	薄膜沉积
激�?感应焊接	玻璃加工
工业加热