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Pfeiffer普发涡轮分子泵组
Hicube系列移动式真空泵组在业界设立了新的标准：**系列的HiPace涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系?*结合 Hicube 真空泵组系列主要分为Hicube ECO（经济型）、Hicube Classic、Hicube Pro三种真空泵组。真空泵组可选择干泵或旋片泵作为前级泵，极限真空度可 5 * 10-10mbar。针对特别有限的空间要求，Hicube 真空泵组中还特别提供尺寸非常紧凑 HicubeEco经济型泵组，其抽速范围从 35 l/s 67 l/s、/span>
根据HiPace 涡轮分子泵选择的不同，HiCube真空泵组还可以分为HiCube 80真空泵组系列、HiCube 300真空泵组系列、HiCube 400真空泵组系列、HiCube 700真空泵组系列、/span>
优势９/span>
涡轮分子泵和前级泵的**结合；适合多种应用需求；
模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求；各部件配合简便，易于保养维修：/span>
集成的驱动系统，无需额外的控制系统；“即插即用?无需布线和安装；
意外断电时，前级真空安全阀（可?）可保护真空腔体免受返流影响：/span>
可以直接连接真空讠/span>
Pfeiffer Hicube真空泵组产品分类９/span>
德国普发 Pfeiffer Hicube ECO真空泵：紧凑的设计和高性能使得Hicube ECO真空泵组为许多应用提供了理想的解决方案；适用于所有的高真空应用；配备了HiPace 80 涡轮分子泵和MVP 015干式隔膜前级泵；
德国普发 Pfeiffer HiCube Classic 真空泵组：适用于所有的高真空和超高真空应用；抽速高?85 l/s，可配备干泵和油封前级真空泵。可选择抽速高?.3 m3/h的干式隔膜前级泵或抽速高? m3/h的旋片泵作为前级真空泵；
德国普发 Pfeiffer HiCube Pro 真空泵组：适用于所有的高真空应用；抽速高?85 l/s，可配备干泵和油封前级泵；它的特性是具有极高的抽速；可选择PentaLine旋片泵和ACP多级罗茨泵作为前级泵：/span>
以上真空泵组 Hicube ECO（经济型）、Hicube Classic、Hicube Pro均可按客户需要选配显示控制单元、/span>
参数 型号 |
连接法兰 |
抽逞/span>L/S |
极限真空mbar |
前级泵抽逞/span>m3/h |
||||||||||
入口 |
N2 |
|||||||||||||
Hicube 80 Eco |
KF40 |
35 |
10-7 |
15L/min |
||||||||||
Hicube 80 Eco |
ISO-K 63 |
67 |
10-7 |
15/min |
||||||||||
Hicube 80 Eco |
CF63 |
67 |
10-7 |
15L/min |
||||||||||
Classic |
法兰连接 |
抽逞/span>L/S |
极限真空mbar |
前级泵抽逞/span>m3/h |
||||||||||
入口 |
N2 |
MVP040 |
MVP070 |
DUO 3 |
DUO5M |
MVP040 |
MVP070 |
DUO 3 |
DUO5M |
|||||
Hicube 80 Classic |
KF40 |
35 |
10-7 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
|||||||
Hicube 80 Classic |
ISO-K 63 |
67 |
10-8 |
10-8 |
5*10-10 |
5*10-10 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
||||
Hicube 80 Classic |
CF63 |
67 |
10-7 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
|||||||
Hicube 300 Classic |
ISO-K100 |
260 |
10-7 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
|||||||
Hicube 300 Classic |
CF100 |
260 |
10-8 |
10-8 |
5*10-10 |
5*10-10 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
||||
Hicube 400 Classic |
ISO-K100 |
355 |
10-7 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
|||||||
Hicube 400 Classic |
CF100 |
355 |
10-8 |
10-8 |
5*10-10 |
5*10-10 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
||||
Hicube 700 Classic |
ISO-K160 |
685 |
10-7 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
|||||||
Hicube 700 Classic |
CF160 |
685 |
10-8 |
10-8 |
5*10-10 |
5*10-10 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
||||
Pro |
法兰连接 |
抽逞/span>L/S |
极限真空mbar |
前级泵抽逞/span>m3/h |
||||||||||
入口 |
N2 |
ACP |
Duo |
Pascal |
ACP |
Duo |
Pascal |
|||||||
Hicube 80 Pro |
KF40 |
35 |
10-7 |
14/27 |
9/20 |
9/18 |
||||||||
Hicube 80 Pro |
ISO-K 63 |
67 |
10-7 |
14/27 |
9/20 |
9/18 |
||||||||
Hicube 80Pro |
CF63 |
67 |
5*10-10 |
14/27 |
9/20 |
9/18 |
||||||||
Hicube 300 Pro |
ISO-K100 |
260 |
10-7 |
14/27 |
9/20 |
9/18 |
||||||||
Hicube 300 Pro |
CF100 |
260 |
5*10-10 |
14/27 |
9/20 |
9/18 |
||||||||
Hicube 400 Pro |
ISO-K100 |
355 |
10-7 |
14/27 |
9/20 |
9/18 |
||||||||
Hicube 400 Pro |
CF100 |
355 |
||||||||||||
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