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SiC涂层
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杭州幄肯新材料科技有限公司
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SiC涂层
353
| 性能指标 | 单位 | 幄肯牌号 | |
| VU-C-SIC | |||
| 结构 | / | β（立方）3C多型佒/td> | |
| 体积密度 | g/cm3 | 3.2 | |
| 化学计量毓/td> | / | 1:1 SiC | |
| 莫氏硬度 | GPa | 9.2-9.5 | |
| 断裂韧?/td> | MPa m1/2 | 3 | |
| 热膨胀系数100?00 °C (212?112 °F) |
10-6 K-1 | 4.2 | |
| 弹性模野/td> | GPa | 375 | |
| 典型膜厚 | μm | 30-100 | |
| 表面粗糙?/td> | μm | 1.6 | |
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