容器材料：SUS304不锈钢，卡套接口316不锈钢、�/span>

净化材料：铜触媑�/strong>（德国BASF�?公斤,分子筛（美国UOP�?公斤、�/span>

净化能力：除氧60L，除�?公斤，系统密闭，泄漏�?lt;0.001%vol/h、�/span>

水氧指标：稳定控�?lt;1ppm,极限可达<0.1ppm、�/span>

循环系统

工作气体：氮气（N2�?氩气（Ar�?氦气（He），纯度99.999%

循环能力：集成风机流量：90m³/h，可变频调节风量；可提供更大风量风机，风�?45m³/h�?80m³/h可选、�/span>

再生

操作：PLC程序控制，自动完成再生过程、�/span>

再生气体：工作气与氢气混合的气体（H2比例5%~10%（�/span>

真空泴�/span>

规格：抽�?m³/h�?2m³/h�?6m³/h可选，品牌：英国爱德华、德国莱宝、国产一线品牌等，提供多种配置选择、�/span>

阀�?/span>

主阀：DN40KF，电磁气动角阀，铝合金或不锈钢阀体、�/span>

气路控制阀：电磁阀，�?0不锈钢管＋�span style="color:#2086ee">集成阀座气路控制系绞�/strong>、�/span>