变形控制：变形控控制速度范围�?.001％～5％FS/s、�/p>

变形控速度控制精度�?.001％～1％FS/s时，±0.2％；1％～5％FS/s时，±0.5％、�/p>

变形控保持精度：±0.002％FS、�/p>

位移控制：位移控控制速度范围�?.0001�?000mm/min、�/p>

位移控速度控制精度：�?.2％；

位移控保持精度：无误差、�/p>