产品型号

YRTP-1100

炉体结构

双层壳体结构，高精度移动平台

额定温度（℃（�/span>

1100

使用温度（℃（�/span>

�?000

温场均匀性（℃）

��3ℂ�/span>

温度状态工艺时间（S)

2~100�?00~1000℃）

*快升温速（�?S（�/span>

200

降温速率（℃/S（�/span>

1~200（通氮气，速率更快（�/span>

温度控制模式

智能模糊全闭环PID控制

操作方式

触摸屏控刵�/span>

超高温状态检浊�/span>

软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回�?/span>

触摸屏尺寷�/span>

7"LED

**功率（kW（�/span>

15

额定电压

AC380~400V�?0HZ�?0Hz定制（�/span>

传感器类垊�/span>

S型单铂铑

反应腔室内径尺寸

��100X200

式样有效空间

4"

真空系统

选配

预留真空抽口

KF16

进出气接叢�/span>

��6卡套

尺寸重量

�?000���?00���?00mm；净重：�?0kg