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RSV系列
专为半导体中等，严苛制程使用 抽气速率?5-3000m³/h
采用一体型螺杆式设计，独特的轴承设计，极宽泛的 度控制范?0-125摄氏度，可采用特殊高镍材质、/p>
适应于大量粉尘，高腐蚀的半导体工艺制程
顸/span>?/span>机型 |
单位 |
RSV100 |
RSV200 |
RSV700 |
RSV1200 |
RSV1800 |
RSV3000 |
|
抽气速率 Pumpspeed50/60) |
L/min |
1666 |
3333 |
11666 |
20000 |
30000 |
50000 |
|
M³/H |
100 |
200 |
700 |
1200 |
1800 |
3000 |
||
极限压力 UItimoate Pressure |
Torr |
75×10³ |
Z5×10/span> |
|||||
mbar |
1×10~² |
1×10³ |
||||||
Pa |
1 |
1×10- |
||||||
马达Motor |
颜定功率 Rated power |
KW |
4 |
5.5 |
6.2 |
8 |
8 |
15 |
底压功率 Uitimate Pressure Power |
KW |
2.5 |
3 |
3.2 |
3.5 |
4 |
11 |
|
管路连接Connection |
入气叢/span>Inlet |
KF50 |
KF50 |
ISO100 |
SO100 |
ISO160 |
ISO200 |
|
出智 |
KF40 |
KF40 |
KF40 |
KF40 |
KF50 |
KF50 |
||
冷却氳/span> Cooing water |
*位/span> |
L/MIN |
3 |
5 |
||||
**压力 MaxPressure |
kg/cm³ |
4 |
||||||
筈/span>rer |
kg/cm³ |
1 |
||||||
湿度Temp |
ℂ/span> |
10-40 |
||||||
ection |
PT3/8 |
|||||||
氮气 (逈/span>酌/span>) N2 |
eure |
Mpa |
0.05-0.2 |
|||||
流量How |
slm |
6-10(Sealinggas)0-50(Dilute)?/span> |
||||||
necten |
Swagelok1/4“/span> |
|||||||
尺寸Dim |
芑/span>×案×高 |
mm |
940×400×503 |
1192×444×650 |
900×400×744 |
1050×444×86 |
090×444×895 |
1150×460×560 |
重量Weight |
kg |
270 |
330 |
380 |
555 |
730 |
710 |
|
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